Учебник-4 (1072670)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

а) б) ййис. 4.9. Способы пронеденнн жидкостной эпнтаксин: а — с вращающимся «онтейнерон; б — с устройством пенальнаго типа; в — шибериого типа 4.10,а. Загрузка и выгрузка шихты и подложек происходит в обес-: пыленных боксах 1 с помощью автоматизированных устройств 3,: 7. Газовые завесы 4 предотвращают попадание атмосферного воз- ' духа в реактор 5. В корпусе установки размещены блоки управле- .;. ния газовой системой 2 и регулирования температуры 6. Реактор установки выполнен в виде трубы 3 (рис. 4.10,б), в ко-,' торой закреплены кварцевые направляющие рейки 4 для переме-: щения контейнеров пенального типа. Контейнеры включают графитовые кассеты 10 для подложек 9 и графитовые ванны 11 с раст- ';, вором-расплавом 8.

В каждой кассете выполнена щель 2, через:. которую может проходить луч от источника 1 на светодиод 7.;: Сигнал от фотодиода через систему управления передается меха- ' низму б, который перемещает ванну 11 до совмещения раствора-,'., ,расплава с подложками 9.

По истечении времени, необходимого': лля наращивания эпитаксиальиого слоя, механизм возврата 5 пе- ' ремещает ванну 11 в исходное положение на кассете, удаляя ос-:., татки пепрореагировавпйего раствора-расплава. После прохожде-:: ния зоны охлаждения контейнеры следуют в зону разгрузки плас-.': тин. Г!роцесс зпнтаксии проводится в смеси газов азота н водо- = рода. 7 х 3 4 б у 4 3 р а атис. 4.10. Установка длн жидкостной эпитаксни: а общий вид; б — принципиальная сиена .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий