Учебник-5 (1072672)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

4.3. УСТАНОВКИ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ "а блица 4.! Значеяяя вараметра реактора Параметр установки для осаждення слоев атносеерносо давлевня яовнженного давления >до 200 До 50 нсло одновременно загружаеммх подложек 'азброс толгдиим слоев: по пластине, +% по партии пластин, +ассе ,корость осаждения, им 'мии 'всход газа носителя, мв ч 5...10 10...15 20...100 1,5...5 3...5 5...20 0,05 Понижение давления газовых смесей в реакторе осаждения слоев до 25...2650 Па (0,2...20 мм рт. ст.) дает ряд преимуществ по сравнению с реакторами атмосферного данлепвя.

Как следует из табл. 4.1, понижение давления позволяет существенно увеличить количество одновременно загружаемых подложек, повысить равномерность толщины наносимых слоев, резко уменьшить расход газа-носителя. В целом расходы на обработку одной подложки в реакторе пониженного давления в 5-10 раз меньше, чем при атмосферном давлении, причем различие усиливается при увеличении диаметра подложек.

Столь высокая эффективность реакторов пониженного давления объясняется тем, что в иих скорость мпссоперепоса (прокачки) газовых смесей значительно повышена посравпепиюсоскоростью реакции осаждения слоев. В результате обеднение смесей при прохождении вдоль реактора сказывается значительно меньше, чем прн атмосферном давлении, поскольку концентрация активных компонентов в газовой фазе остается практически постоянной по всей длине зоны реакции. Кроме того, при переходе от атмосферного давления к пониженному скорость диффузии исходных реаентов в зазор между пластинами возрастает примерно в !000 раз.

Универсальная установка для осаждения слоев при пониженном давлении, схсма которой показана на рис. 4.!1, изготовлена па базе одпотрубного агрегата термической обработки подложек : трехэопным резистивным нагревателем. Установка включает слетующие основные узлы: нагреватель, реактор, вакуумную и газо>ую системы, систему очистки выбросов. Газовая система установки содержит основные каналы для >абочих газов и вспомогательные для продувки инертными газами.

3 каждом газовом канале установлен запорный кран 9, регулятор гавления 8, измеритель расхода газов 7, натекатель 6, электромагмгтный клапан 5. Смеситель 4 предназначен для получения газо- .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий