Учебник-18 (1072696)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

~ — ® а Д-~ Рвс. 8.10, Схема установки плазмохимичаского травлении нз бустерного 5!В1 и механического г!11 нас<шов, водоохлаждаемой 'В%1 и азотной В!.1 ловушек, системы пневмоуправляемых клапа,нов сгР!,. ХРЗ, вакуумного затвора ЪТ! и натскатсля 7Р1. Контполь давления прн откачке осуществляется термоэлектрическими Т1...РТЗ и магнитным РМ! вакуумметрами. Технологические газы подаются в камеру через отверстие в крьппке 3 н с помощью натекателя ггР2 устанавливается рабочее 'давление 1...!О Па. На электрод 4 через металлический стержень ,21 подается ВЧ-напряжение. Электрод 4 и стержень 21 охлаждаются проточной водой, подаваемой через коллектор 20. Между '!электродом 4 и заземленной крышкой 3 возбуждается ВЧ тлеюст!ц~й разряд, который активирует рабочий газ.

Образующиеся рега кцлонно-способные радикалы взаимодействуют с материалами, одвергаюшимися тра~влеплю, и на поверхности подложек происхосгй!!т химические реакции. Образующиеся при этом летучие соедифвния вместе с отработанными технологическим газами удаляют- .'я вакуумным агрегатом. ',1::,, Для повышения равномерности травления одновременно обра-' 'чтываемых пластин вводится врагцение электрода 4. Движение составной вал, внутри которого размещены труба для подачи лаждаемой воды, стержень 21 и изолятор 5, а по периметру дис' установлеп экран 2, передается от электродвигателя М2 через ' Иическую и цилиндрическую зубчатые передачи и обгонную муф- ,10.

Частота врагцения вала составляет 5 мин-'. Герметизация йщенпя осуществляется манжетным вводом движения в вал'и 15. ,,'УПрп загрузке и выгрузке подложек вал с электродом 4 соверят поворот на определенный угол с помощью храпового колеса 89 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий