Учебник-29 (1072707)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Рас. 525. Магистральао-молулькый комплекс МЛЭ эпитаксиальный рост слоя н осаждение защитного покрытия це"' лесообразно не в одном вакуумном объеме, а в разных с пере: дачей подложек в вакуумной транспортной магистрали. Создан магистрально-модульный комплекс МЛЭ (рис. 5.25)„;: который обеспечивает проведение в разных технологических мо; дулях операции подготовки подложек (модуль 2), молекулярно-." лучевой эпитаксии (модуль 7), получение диэлектрических по,", крытий или металлизации (модуль 3) в едином технологическом',' цикле в условиях сверхвысокого вакуума без вскрытия рабочнк! камер.

Все модули снабжены необходимыми для проведения тех.. нологнческих операций аналитическими средствами контроля па-4) верхности и технологической среды. Подложки поочередно передаются из загрузочного модуля 1 в! вакуумную транспортно-загрузочную магистраль 4 и затем с по-) мощью манипуляторов 6 переносятся последовательно в рабочий1 модули 2, 7 и 3.

Обработанные изделия выгружаются через мо'-:; дуль 5. В комплексе предусмотрена кассетная загрузка подложек (по: 10 подложек в кассете) Он может быть дополнен другими мол,;. дулями для выполнения каких-либо новых технологических операций изготовления БИС и СБИС в вакууме. Помимо разрабо-," танного варианта вакуумного транспортера, жестко соединенног" со всеми входящими в магистрально-модульный комплекс каме,,': рами, существует вариант с гибкой межагрегатной связью, пре.„ дусматривающнй использование герметичных кассет-накопите,' лей и применение промышленных роботов. 124 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий