Учебник-24 (1072702)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

помощью устройства 46. При необходимости в шлюзовой ка' можно обеспечить ионную очистку подложек. В рабочую кам ' 47 подложки поступают через щелевой вакуумный затвор. П' менение нескольких магнетронных источников распыления ' имеющих протяженную форму, позволяет быстро, с высокой р'" иомерностью по толщине и высокой чистотой получать пленки ' мого разного состава. Можно получать многослойные, многок понентные, магнитные, диэлектрические и многие другие ви', тонкопленочных элементов ИС, Разработка вакуумных автоматических линий требует ба" ших затрат времени и средств, а технология изготовления меняется довольно часто. Поэтому конструкция вакуумных ав,"' матических линий должна обладать гибкостью, легко перестр ' ваться на реализацию новых технологий.

Этому способствует дульный принцип построения линии (рис. 5.!6). Набор унифицированных элементов — модулей: подложкон тела 1, загрузочной камеры 2, шлюзового загрузочного устрой,' ва 6, рабочего модуля 3, промежуточной камеры 8, загрузоч,, разгрузочного устройства 5 и вакуумных затворов 4 позвол '. компоновать УВН практически всех типов, показанных на спи '' ли развития УВН (рис. 5.15). Так, можно собрать установку ц риоднческого действия (рис. 5.16,а), возвратного (рис. 5.!6,б),;:,; прямоточного шлюзования (рнс.

5.!6,в). Пополнив комплект дулей автоматическим загрузчиком 7 (рис. 5.16,г), можно по "' чить вакуумную автоматическую линию, которая может б встроена в гибкое автоматическое производство ИС. 5.4. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ, ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ И МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ Использование электронных пучков в качестве универсаль го технологического инструмента позволяет не только измен свойства обрабатываемых материалов, но и очень точно конт лировать эти изменения.

С помощью электронных пучков мож нагревать поверхность полупроводниковых подложек для пх об' гаживания и очистки, отжигать подложки после ионной нмпл ' тации, расплавлять материал в электронно-лучевых испарител при нанесении топких пленок, при сварке корпусов и приваи выводов ИС. Для получения особо чистых материалов, примен'. мых в производстве ИС, широко используется вакуумная эле ровно-лучевая плавка.

Электронные пучки малых диаметров пользуются для формирования элементов топологии ИС при лучении имп электронорсзиста, а также для контроля химнчес го состава и размеров элементов прн Оже.спектроскопии п ра розой электронной микроскопии. Кроме того, с помощью эле' ронных пучков производят возбуждение и поддержание плаз ' !! 2 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий