Учебник-6 (1072674)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

га гу Рнс. 4.! !. Схема установки длв осажденнн слоев при поннгкеггггом давлении вых смесей требуемого состава. При настройке аппаратуры газо-''-",.'! вой системы смеситель через байпасную линию 10 соединяется с: '! откачной системой, а в рабочем режиме — с реактором !. Кварцевая труба реактора с помощью резиновых уплотнений закрепля-.'...".! ется в водоохлаждаемых вакуумных шлюзах 3 и 24, между кото;,,",: рыми размещен резистнвпый нагреватель (электронечь) 2.

Подача '!;". газов в реактор и загрузка-выгрузка пластин осуществляется через .~ шлюз 3. В откачном шлюзе 24 установлен датчик давления 22 и;:.':-,' блок нз трех термопар 23 для контроля температуры реактора Ко-:-,; личество и назначение каналов рабочих газов определяется видом.:л процесса осаждения.

Трсбовнггия к газовым системам устагговок",'с осаждения слоев прн пониженном и атмосферном давлении во мно-''ст. гом схожи. Отличием является лишь то, что в системах с пони,::-з~ женным давлением между реактором и газовой системой устанав-:2 ливают натекатели, с помощью которых регулируется расход газа;:.,'„ Более подробно конструкции основных элементов газовых систем~',; рассмотрены в Е! 6.4, 6.5.

Вакуумная система установки содержит вакуумный агрегат 16хчч (модель АВР-!50 или АВР-50), состоянтий из двухроторного на-,'"-~~в соса !7 и механического насоса 15 с масляным уплотнением. Пе~~~ ред агрегатом расположены ловушка 21 и фильтр 20, улавливаКтаь, щие продукты реакции, регулятор быстроты откачки 19, вакууме~~с 04 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий