Учебник-15 (1072691)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

нижние клапаны 5 обоих шлюзов опускаются (герметизация при- $ емной камеры при этом осуществляется уплотнительными элемен-:~ тами верхних клапанов) и одна подложка соскальзывает на сто- ~ лик 11, а другая — в свободную ячейку кассеты 3. Герметизация,11 полостей шлюзов 6, соединяющихся при закрытых клапанах с объ- й емом приемной камеры 8, осуществляется с помощью гибких мем- '~ бран 16. Столик 11 с новой подложкой переводится в положение имп-,'~ лантации. Наличие подложки на столике контролируется фото- ~ датчиком 9, После обработки всей партии подложек стойки 2 пе-,~ реводятся в вертикальное положение и производится смена кассет.,''~! После проведения процесса имплантации необходим отжиг.", пластин, так как возможно образование радиационных дефектов,,-"; нз-за того, что не все внедренные атомы занимают электрически з активную позицию.

Наиболее эффективен импульсный отжиг, воз- ~ действующий только на приповерхностный легированный слой, на-':" пример электронный, лазерный или галогенными лампами. При эксплуатации установок ионной имплантации особое вни- У,, мание должно быть уделеиоохранетрудаоператоров. Чтобы обес-,~ печнть нормы радиационной безопасности, применяется встроенная ';,,.' рентгенозащита, изготовленная из листового свинца толщиной" 6 мм и свинцовистой резины. Она может быть надежной при условии, что вторичные электроны, создающие рентгеновское излуче-т' ние, не набирают энергии свыше 300 кэВ.

Это может быть достиг-'1~ путо путем разделения высоковольтной системы ускорения на не-:, сколько блоков. Кроме того, в ионопроводе необходимо разместить ~ магнитные ловушки, отклоняющие вторичные электроны с осн:.",, ионопровода и не позволяющие им набирать высокую энергию. 5.2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ВАКУУМНОПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ МИКРОСТРУКТУР Методы жидкостного травления в силу их недостаточно высо-,'~ кой разрешающей способности не удовлетворяют требованиям':~ БИС и СБИС.

Наиболее эффективны методы так называемой су-'.-. хой технологии, в основе которых лежит взаимодействие газараз-'1 рядной плазмы с твердым телом. Компонентами плазмы могут яв-~~ ляться ноны, электрически нейтральные радикалы, обладающие! высокой химической активностью, а также фотоны, реакционно.й активные фрагменты молекул, электроны. По физико-химическому принципу различают три метода трав4 ления: ионное, ионно-химическое и плазмохнмическое. Ионновх травление заключается в разрушении и удалении обрабатываемогп,' материала за счет физического взаимодействия 1бомбардировки1, ускоренных ионов инертного газа с поверхностью полупроводнико,": вой подложки.

Энергия ионов составляет при этом 0,5 ... 10 кзЬ,' 80 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий