Учебник-7 (1072676)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Рнс. 4.12. Цнклограммв давлений в установке осаждения слоев при по. ннженном давлении к за 75 75! !! ! ! ! ! ! ! ! !! 7 5 ? т 75 !! ! ! ! !! ! ! ! 5757 а ный вентиль 18, Маслоочиститель 14 необходн" для увеличения ресурса работы насоса. Система очистки выброса состоит из маслоотражателя 13, фильтра 12 и поглотителя 11. Вакуумный агрегат ЛВР-160, маслоочистнтель и система очистки выброса объединены в единый откачной пост, размещенный во вспомогательном помещении. Газовая и вакуумная системы обеспечивают проведение основных операций цикла осаждения слоев в соответствии с циклограммой (рис. 4.12). После загрузки подложек в рабочую зону (этап 1) н откачки реактора до предельного остаточного давления 1...3 Па (2) следует его продувка аргоном (3) и контроль натекания (4).

Регулировка элементов газовой системы сопровождается напуском реагентов в байпасную линию (6), вслед за чем следует переключение потока в реактор и осаждение слоев (6). После осаждения слоя требуемой толщины поток реагентов снова переключают на байпасную линию и после откачки реактора до предельного давления и его продувки следует разгерметизация (7) и выгрузка пластин из реактора (8). Откачиваемый из реактора газовый поток содержит непрореагнровавшие исходные вещества, газообрззные продукты реакций н твердые частицы либо осаждаемого материала (нитрида кремния. поликремния, диоксида кремния), либо рабочих продуктов реакции (например, хлорнстый аммоний).

Поэтому вакуумные насосы должны быть стойкими к воздействию корродирующих веществ и механических загрязнений, иметьвысокуюнадежиость,малый вес и габариты. Вакуумные агрегаты обычно включают двухроторный насос (насос Рутса) и механический насос с вакуумным уплотнением (пластинчато.роторный или золотниковый). Конструкции насосов, их возможности и ограничения рассмотрены в и 6.1. 6 — 6261 66 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий