Учебник-16 (1072693)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

вольтный изолятор 17. Рабочий газ подается в источник ионов через натекатель 18, Повышение эффективности процесса ионнзацни обеспечивается электромагнитной катушкой 4. В рабочей камере 13 размещены поворотный столик 11 с обра, батываемой подложкой 10, термокатод-нейтрализатор 8. На флан- пах камеры установлены привод 14 вращения столика, механизм поворота заслонки 16 и смотровое окно 9. Нижний фланец пред:;: назначен для соединения рабочей камеры с вакуумной систе'-. мон 12.

Принцип работы установки заключается в следующем. Элек)''- троны, эмиттированные раскаленной вольфрамовой нитью ка года 1, ,--.; устремляютсн к аноду 3, но летят не прямолинеЙно, а по спираль- ~,ным траекториям под действием магнитного поля катушки 4. Стал)::киваясь с атомами рабочего газа. электроны ионизируют его, в З'результате чего образуется плазменное облако 19. С помощью з'электродов ионной оптики 5, 6 и 7 ионы аргона вытягиваются из я' плазмы, фокусируются в пучок !5 определенного сечения и усков~';ряются до энергии, достаточной для эффективного распыления маг4териалов на поверхности подложки.

Для управления началом и окончанием т)тавления служит за- ~~~":слопка с механизмом поворота 16. В случае распыления днэлск".,Ытрнческих материалов ионный пучок 15 нейтрализуется электро~э~: вами, испускаемыми термокатодом 8, и травление производится ь!'атомами аргона. Для изменения угла падения ионов или атомов ~~" аргона столик !1 имеет возможность поворота относительно на- )~:.правления луча 15. Равномерность травления обеспечивается вра- ~ 'шепнем столика с помощью электродвигателя 14 Высокая чистота процесса травления достигается тем, что в ~",.'Рабочей камере !3 можно поддерживать давление ниже 10-з Па. факто возможно благодаря тому, что между объемом источника ио1~аов 2, в ко ором для устойчивого горения газового разряда созда::~~ется и поддерживается давление примерно 10-' Па, и объемом луабочей камеры 13 обеспечивается перепад давлений за счет ::.~Вязкой проводимости ионной оптики или наличия специальной :.-:диафрагмы. Существенно повысить производительность процесса ионного з!)травления микроструктур ИС позволяет групповая обработка под,"4ажек большого диаметра.

На рис. 5.10 представлена схема устаЪ~овкн плазмохимического травления микроструктур, реализуюьцая ~~~еетод групповой обработки. В основу работы установки положен '%; особ возбуждения молекул реакционной смеси газов энергией ', Ч плазменного разряда и взаимодействия их с поверхностью об;;вбатываемых подложек. Подложки 6 (рис. 5.10,а) диаметром 75, 100 или 150 мм за' ужаются в рабочую камеру 1 с помощью пневмозахвата 7 манифлятора устройства загрузки. Откачка рабочего объема до дав"~фипя 9 !О-' Па осуществляется вакуумным агрегатом, состоящим 87 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий