Учебник-3 (1072668)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Регулировка температуры по высоте подложкодержателя может проводиться за счет изменения шага витков индуктора. Оборудование для эпитаксии из жидкой фазы. Жидкофазиая эпитаксия в основном применяется для получения слоев двойных (например, ОПАз) и тройных (СбЬПР!) полупроводниковых соединений. Процесс эпнтаксии вз жидкой фазы включает следующие основные этапы.

Готовится шихта из вещества наращиваемого слоя и металла- растворителя. Этот металл должен иметь низкую температуру плавления, хорошо растворять полупроводник, на который наращивается слой. Например, эпитаксиальные слои ОаАз, СаР наращннается из растворов в галлии, слои Сд5ИР, — из растворов в олове.

Шихта расплавляется до образования однородного равновесного раствора, при этом поверхности подложки и раствора очищаются От оксидов восстановлением в потоке водорода. При нанесении раствора на поверхность подложки он смачивает и частично растворяет ее, удаляя с поверхности загрязнения и дефекты. После выдержки прп максимальной темпсратуре (около 1050'С) начинается медленное охлаждение. Раствор из насыщенного переходит а перенасыщенное состояние, что ведет к кристаллизации избытков полупроводника из раствора па поверхность пластины, выполня!ощей роль затравки.

Растущий эпитакснальный слой продолжает кристаллическую решетку подложки, однако может отличаться от пее по типу проводимости. Для этого в шихту или газовую фазу добавляют легируюп!нс добавки, После достижения слоем задап- ИОЙ толщины расплав уда*!Иют с пОверхиОсти подлогкки и Опа оыстро охлаждается до комнатной температуры.

Оборудование для реализация рассмотренного технологического процесса должно обеспечивать нагрев кассеты с подложками в интервале 300...1100'С с погрешностью ~0,75 'С, иметь несколько температурных зон, соответствующих перечисленным этапам процесса. Необходимо предусмотреть устройства для нанесения раствора-расплава нз ~игла па поверхность подложки, при этом материалы тигля и реакционной камеры не должны взаимодействовать с раствором-расплавом и подложкой.

Процесс эпнтаксии из жидкой фазы должен вестись в за!нитной среде или вакууме. Реакторы установок для жидкофазной эпитаксии обычно изготавливаются из кварца, внутренняя аппаратура — тигли или ванны для расплава, кассеты для подложек — из графита. Размещаемые внутри реакторов устройства позволяют проводить нагреи шихты н подложки, перемещение расплава на поверхность подложки и его последующее удаление.

Эти операции могут выполняться поворотом контейнера с ванной и подложкодержателем, а также с использованием устройств пепального или шиберного типов (рис. 4.9) . Для проведения жидкофазной эпитаксии применяется установка непрерывного действия, компоновка которой показана па рис. 6!' .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий