Учебник-9 (1072680)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

пря>кеиность магнитного поля на равновесной траектории состав- ',;;:" ляет 100 кА/м (8000 Э), что позволяет разделять пучки ионов в ' диапазоне масс 1...200 а. е, м. на промежуточной энергии ионов -... 15 кэВ. Питание обмоток электромагнита осуществляется от ста-: билизированного источника питания. В магнитном поле устройства сканирования 3 ионный пучок ",.' отклоняется на определенный угол. Поскольку отклонять необхо-:: димо пучок ионов, одинаково заряженных и имеющих одинаковое ': значение импульсов, то угол отклонения будет зависеть только от;: напряженности магнитного поля и его протяженности вдоль тра-,' ектории ионов. Форма, размеры полюсных наконечников и межполюсиого зазора обеспечивают однородность магнитного поля во,', всей области его действия на ионный пучок.

Системы ускорения 5 выполнена в виде одч>озазорного проме- 1 жутка, образуемого двумя нзолнрованнымн друг от друга щелевыми электродами. Первый электрод находигся под потенциалом земли н представляет собой вогнутую диафрагму, проходное сече-, ние которой можно изменять в зависимости от геометрии сечения '' пучка. На второй электрод подается ускоряющее напряжение, он:,. имеет прямоугольну>о форму с вогнутой входной гранью, В приемной камере 10 размещен контейнер 11 в виде барабана,, на котором устанавливаются подложки 8. Они располагаются в сменных кассетах; !00 подложек 075 иаи 54 подложки Я!00, нлн; 24 подложки к>150 мм. Для подготовки подложек к имплантации:.

используются нагреватели 12. В процессе легирования барабан ' непрерывно и равномерно вращается с помощью привода 13 с час-, тотой 20 мни-'. Этим обеспечивается механическое сканирование:! подложек в горизонтальной относительно пучка ионов плоскости.;. Измерение дозы н контроль равномерности легировапия осуществляется универсальными дознметрами 9. Для настройки ионной ' оптики служит подвижный цилиндр Фарадея 4. Вакуумная система установки выполнена на б>азе высоковаку-:; умного паромасляиого агрегата АВП-250(630 и обеспечивает тре-: буемое разрежение в зоне источника ионов, зоне пролета ионного; пучка и в приемной камере. Для улучшения вакуумных условий в '„ приемной камере применяется заливная азотная ловушка 6.

Вакуумный объем приемной камеры отделен от других объемов плоским затвором 7 шнберного типа с проходным сечением 120Х .', Х400 мм. Установки ионной имплантации, предназначенные для легпрования больших и малых доз ионами высоких и низких энергиш,;. групповым илн индивидуальным методом, отличаются взаимным.' расположением функциональных элементов (рис. 5.2). Так, наноолее распространенным типом являются установки с системой:.

ускорения 5, расположенной после масс-сепаратора 3 (рис. 5,2,а)," т, е, осуществляющие ускорение уже отсепарированного, изотопно. чистого ионного пучка. Сепарация относительно низкоэнергетичес-, 70 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий