Учебник-22 (1072700)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ботанная подложка с цомошью робота, приводимого в движение механизмом 14, переносится на поворотную планку 12 механизма съема 11 н затем в свободную ячейку соответствуюшей кассеты 8. В освободившийся модуль переносится новая подложка и процесс травления в данном модуле повторяется. На описанной установке можно добиться хорошей воспроизводимости результатов травления, Так, значение среднеквадратического отклонения ширины линий не превышает 0,05 мкм при обработке поли-и монокристаллическогокремния,510э, 5)зХь а также А) и Мо. При этом источник ВЧ-напряжения имеет мошность 720 Вт, частоту 13,56 МГц. Управление установкой автоматическое с помощью микропроцессоров.

5.3. УСТАНОВКИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ В производстне ИС вакуумным нанесением тонких пленок можно получать проводники и контактные площадки, тонкопленочные резисторы, конденсазоры, индуктивные элементы, диэлектрические покрытия и магнитные пленки, полупроводниковые структуры ИС. В качестве материалов пленки используются металлы, диэлектри' ки, полупроводнанковые н магнитные сплавы и соединения. Основными характеристикам~и тонких пленок является их ,'структура, размер зерна, чистота, адгезия к подложке, механичес:кие напряжения и т.

д., которые определяются параметрами техно'::логического процесса и оборудования для нанесения пленок. На ,качество тонких пленок влияют такис факторы, как качество мате'риала подложки и ее очистки, шероховатость и температура под';"ложки, чистота исходного материала, скорость осаждения, парци,:,'альное давление остаточных газов в рабочей камере, взаимное рас~~йоложение и относительное перемещение источника и приемной оверхности Процесс нанесения тонких пленок требует изолированного от атмосферы объема, в котором создается требуемое разрежение. а процесс нанесения пленок состоит из: образования атомарного и молекулярного потока вещества из источника испарения или спыления, переноса этого потока от источника до подложки, нденсации атомов или молекул на подложке и образования янки „, Основные требования к устаноикам вакуумного нанесения тон.

г х пленок (УВН) заключаются в обеспечении максимальной чис- ы пленки, ее адгезии к подложке, заданной структуры и раз- ра зерна, получении высокой равномерности толщины пленки, Ъспечении требуемой производительности обработки. Удовлетво'йие этих требований осуществляется путем выбора способа на:,ения пленки и типа вакуумной системы, выбора наиболее эф- Клнвпого источника испарения или распыления материала, спо- 'л, 93 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий