Учебник-12 (1072686)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Рис. 6яя. Приемная камера с Пмстрояря1ия1ощимся диском Приемная камера для индивидуальной обработки подложек пони на рис. 5.7. Ионный пучок 13, поступающий в приемную ру 8 из трубы дрейфа 14, сканирует по всей поверхности лодки 12. В процессе имплантации ионов подложка неподвижна сполагается на столике 11. Контроль параметров ионного пучронзводится цилиндром Фарадея 10.

Загрузка и выгрузка ожек осуществляется через шлюзы 6 кассеты 3 по принципу тт счет увеличения скорости механического сканирования и обычным подводом воды через герметичный ввод е — - —, и вращения, а также создается возможность для автоматической загрузки и выгрузки подложек. На рис. 5.5 изображена приемная камера с подложконоснтелем в виде быстровращающегося диска. Вакуумная камера 7 соединена с ионным Л трактом, из которого поступают легнрующие ионы.

Подложки 6, закре- г пленные на диске 5, бомбардируются сфокусированным ионным пучком 8, л = — $ который сканирует по подложке в радиальном направленяи при помощи магнитных или электростатических отклоняющих систем. Диск 5 приводится во вращение электродвигателем через ременную передачу и магнптожпдкостный ввод врагцепия 3, которые установлены на откидной дверце 2.

С помощью тяги 1 дверца 2 после напуска воздуха в камеру 7 может переводиться и горизонтальное положение для смены подложек. Быстровращающийся дисковый подложкодержатель с вводом движения на магнитной жидкости и перемещение пучка ионов с постоянной коррекцией скорости этого перемещения по радиусу щюка, а также точное измерение дозы позволяют обеспечивать высокую точность, а следовательно, и качество легирования.

Автоматизация загрузки и выгрузки дисков с подложками мои)ет быть осуществлена с помощью манипулятора, как это пока'ииано па рис. 5.6. После окончания процесса ионной имплантации ййерца приемной камеры при помощи гидроцилиндра откидывается ",.горизонтальное положение (рис. 5.6,а). Манипулятор с помощью 'йвкуумных захватов поднимает диск с обработанными подложка- дверцы и диск с новой партией подложек со стола (рис. ) и меняет их местами. После этого дверца возвращается в нкальное положение (рис.

5.6яв), прижимается к корпусу приой камеры и система готова к обработке новой партии подло- .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий