Учебник-23 (1072701)
Текст из файла
лишь в пределах обработки одной кассеты, вмещающей, как мыло, 25 подложек. При выгрузке всех подложек из кассеты (рпс. 5.!5д) необходимо время на разгерметизацию шлюзовой ' меры 34, замену кассет и откачку шлюзовой камеры. Этих ' тсрь времени можно избежать при создании вакуумных 'автоатических линий для изготовления тонкопленочных племен'.а ИС, Па рис. 5.15,е показана вакуумная автоматическая линия .'-1200 фирмы ) еуЬоЫ-Негаеиз (ФРГ), состоящая из модулей '1рузки 51 и выгрузки 49, шлюзовых модулей 45 и 50, модуля ':еждеиия пленок 47.
В таких линиях может осуществляться как дивидуальная, так и групповая обработка пластин большого 'аметра. Подложки, закрепленные на плоских подложкодержалях 44, через дверцу в шлюзовой камере 45 автоматически заужакатся в нее. Там может производиться нагрев подложек с г 5 и ь у, ь л 5 7 7 ; Ь,!6. Варианты модульной компоновкн установок нанесения тонких пленок 111 Й: .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
