Учебник-10 (1072682)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Для разделения рабочих объемов установки и шлюзового загрузочного устройства при раздельном вскрытии их на атмосферу ' применены затворы поворотного типа с электромеханическим при' водом УМ6 и ЧМ7. Измерение давления при создании требуемого . разрежения и при проведении имплантации осушествляется термопарными РТ и ионизацнонными РА вакууметрами.

Раздельная откачка приемной камеры 3 и источника ионов 1 необходима в связи , с тем, что оии находятся под разными электрическими потенциа' ламн. Вакуумная система работает в автономном режиме по за.:: данной программе. Важнейшей характеристикой оборудования для ионной имплан! тации является равномерность легнрования полупроводниковых ! пластин, которая во многом определяется методом сканирования :,', ионного пучка. В высокоэнергетических установках, когда откло! нение ионов приводит к значительному увеличению габаритов от:, клоняющей системы, наиболее эффективно полностью механнчес- 1' кое сканирование. Приемная камера с такой системой сканирова- 1 ппя показана на рис.

5.4 В приемной камере 4 расположен барабан 8 с кассетами под»;;,' ложек 7. Барабан 8 совершает вращательное н возвратно-посту- 1 нательное движение относительно неподвижного ионного пучка 6. '~ Конструкция барабана представляет собой так называемое колесо ~: Ферриса, обеспечивающее постоянный угол падения ионов на дви,' жущиеся подложки (рис. 5.4, внд А). Этого добиваются постоян~ч ным относительным перемещением образующих барабана 8 с по:; мощью качательного движения кривошнпного вала 9, сообщаемого :;, ему гидроцнлнндром 22. Вращение на барабан передается через вал 17 и зубчатую ре- 7' фменнучо передачу 24 от электропривода 3. Герметизация вала 17, Ц;как и кривошипного вала 9, осуществляется уплотнительными ман)~жетамн из резины. Для точной остановки барабана в положении '-~загрузки и выгрузки подложек используются как датчики положеЭчйпня, так и индикатор для визуального коятроля.

Возвратно-поступательное движение барабана совершается при ~;помощи электропривода 21, движение от которого через зубчатую !~~ременную передачу 20 и ходовой винт 2 передается на подвижную ,=':хплнту 19, которая перемещается по направляющим 1. Герметик ~~~узная штока 18 осуществляется эластомерными уплотнительными "~прокладками 5 круглого сечения. Вместе с плитой 19 персмещаыотся и закрепленные на ней приводы 3 н 2!. Жесткость конст,.;!!вукцин обеспечивается неподвижной плитой 23.

ф' Высокая производительность установки и воспроизводимость ;;~~Фараметров имплантировапных слоев достигаются благодаря при~~4441енспию шлюзового загрузочного устройства 11, отделенного ог Ъфабочей камеры 4 вакуумным затвором 16. Г1одложкодержатели 7 "«йвгружаются в барабан 8 из кассеты 14 с помощью привода 12 и ,,феханизма загрузки-выгрузки 13.

Пошаговое перемещение кассе- 75 'Ф ' .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий