Учебник-8 (1072678)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

/2 П М Э д 7 б б 4 3 2 и Рис. 6.!. Установки «Везувий-8» экстрагнруюшую и фокусируюшую оптику, устройства ускорения, сепарации по массам и сканировании ионного пучка, приемную камеру, вакуумную систему, источники питания, устройства контроля и управления технологическим процессом. На рис. 5.1 изображена схема установки ионной имплантации «Везувий-8», предназначенной для имплантации больших доз (6,25 10'и ион/см') ионов массой до 200 а.

е. м и током 2...5 мА при энергии ионов до 100 кэВ в производстве ИС:нз подложках диаметром 75, 100 и !50 мм. Осповныс элементы установка: ионный источник 1, электромагнитный масс-сепаратор 2, устройство магнитного сканирования 3, система ускорения 5, приемная камера 10. Ионный источник 1 предназначен для получения легирующих ионов В', Р', Аэе, Хпэ н 5Ъ". По принципу действия является дуговым с прямоканальным катодом. Дуговой разряд возбуждается в магнитном поле напряженностью Н=15 кА/м (1200 Э), что веобходимо для повышения эффективности ионизации газов н паров рабочих веществ. Извлечение ионного пучка осуществляется при помощи трехэлектродной шелевой оптики.

Ионный пучок, вышедший из источника ионов, ускоряется и поступает в устройство, чувствительное к массе ионов, — масс-сепаратор. Опо необходимо для удаления многозарядных ионов н ионов нежелательных при''вэесей. Масс-сепаратор 2 представляет собой электромагнит секторнпго типа с углом поворота пучка 1!О', радиусом равновесной траЬктории 300 мм и межполюоным зазором 50 мм. Наибольшая на- 69 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий