Учебник-21 (1072699)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

промежуточной вакуумной камеры 4 с перегрузочным роботом 3.'ф и шлюзовой загрузочной камеры 5. Через патрубки 7 и 15 произ-;.~~ водится раздельная, независимая откачка каждого рабочего мо-:4 дуля 2, промежуточной камеры 4 и шлюза 5. Рабочие модули от-'~ делены от промежуточной камеры затворами 13, шлюзовая ка-,'.;."' мера отделяется от вакуумного объема при загрузке и выгрузке."!;" плоскими затворами 9, которые с помощью механизма подъема 10! прижимаются к нижней стенке шлюзовой камеры 5. Установка имеет следующие особенности: с целью повышения ".~ точности обработки в каждый модуль 2 для травления помеща- ! ется по одной подложке и режим травления контролируется в.~ каждом модуле; для увеличения производительности используется 4 одновременная обработка в нескольких (до семи) модулях в ре-;.

.3 жиме последовательной загрузки при условии минимального вре- ! мени ожидания прн транспортировке; чтобы улучшить воспроиз- "'. водимость результатов травления и обеспечить автоматическое; обслунгивание, все рабочие модули должны быть постоянно отка- ':, чаны до высокого вакуума, перегрузка пластин осуществляется вакуумным роботом, полностью исключающим контакт оператора '~ с обрабатываемыми изделиями; обеспечена возможность обработ- '.'' ки подложек диаметром 75...150 мм. Принцип действия установки заключается в следующем. В шлю- . зовую камеру 5 через крышку 6 вводятся две кассеты 8 с подложками и через патрубок 7 производится откачка камеры 5.

После, завершения откачки кассеты 8, установленные на плоских затворах 9, с помощью механизма пошагового перемещения !О переводятся: в промежуточную камеру 4, в которой постоянно поддерживается высокий вакуум. С помощью робота 3 и поворотной планки 12, механизма съема !1 первая подложка из кассеты переносится в ' один из рабочих модулей 2 через открытый затвор 13, После установки подложки !8 на электрод 17 рука робота возвращается в промежуточную камеру 4, рабочий модуль закрывается и в него ' через натекатель ! подается рабочий газ.

В модуле устанавливается заданное давление, от источника 16 подается на электрод 17 ' ВЧ-напряжение, и начинается процесс травления. Сразу после завершения процесса загрузки первой подложки вторая из кассеты 8 переносится в другой рабочий модуль, в котором также начинается процесс травления. Аналогично выполняется процесс загрузки следующих подложек в остальные рабочие модули. Таким образом, процессы загрузки совмещены по времени с процессом обработки, что является одним из путей повышения производительности оборудования. Прн завершении травления первой подложки контрольное уст-' ройство выдает сигнал прекращения подачи в модуль ВЧ-напря-' жения и напуска рабочего газа.

Через некоторое время, необходимое для откачки из модуля газообразных продуктов травления и достижения высокого вакуума, камера открывается и первая обра- вз .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий