Учебник-21 (1072699)

Файл №1072699 Учебник-21 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))Учебник-21 (1072699)2017-12-28СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

промежуточной вакуумной камеры 4 с перегрузочным роботом 3.'ф и шлюзовой загрузочной камеры 5. Через патрубки 7 и 15 произ-;.~~ водится раздельная, независимая откачка каждого рабочего мо-:4 дуля 2, промежуточной камеры 4 и шлюза 5. Рабочие модули от-'~ делены от промежуточной камеры затворами 13, шлюзовая ка-,'.;."' мера отделяется от вакуумного объема при загрузке и выгрузке."!;" плоскими затворами 9, которые с помощью механизма подъема 10! прижимаются к нижней стенке шлюзовой камеры 5. Установка имеет следующие особенности: с целью повышения ".~ точности обработки в каждый модуль 2 для травления помеща- ! ется по одной подложке и режим травления контролируется в.~ каждом модуле; для увеличения производительности используется 4 одновременная обработка в нескольких (до семи) модулях в ре-;.

.3 жиме последовательной загрузки при условии минимального вре- ! мени ожидания прн транспортировке; чтобы улучшить воспроиз- "'. водимость результатов травления и обеспечить автоматическое; обслунгивание, все рабочие модули должны быть постоянно отка- ':, чаны до высокого вакуума, перегрузка пластин осуществляется вакуумным роботом, полностью исключающим контакт оператора '~ с обрабатываемыми изделиями; обеспечена возможность обработ- '.'' ки подложек диаметром 75...150 мм. Принцип действия установки заключается в следующем. В шлю- . зовую камеру 5 через крышку 6 вводятся две кассеты 8 с подложками и через патрубок 7 производится откачка камеры 5.

После, завершения откачки кассеты 8, установленные на плоских затворах 9, с помощью механизма пошагового перемещения !О переводятся: в промежуточную камеру 4, в которой постоянно поддерживается высокий вакуум. С помощью робота 3 и поворотной планки 12, механизма съема !1 первая подложка из кассеты переносится в ' один из рабочих модулей 2 через открытый затвор 13, После установки подложки !8 на электрод 17 рука робота возвращается в промежуточную камеру 4, рабочий модуль закрывается и в него ' через натекатель ! подается рабочий газ.

В модуле устанавливается заданное давление, от источника 16 подается на электрод 17 ' ВЧ-напряжение, и начинается процесс травления. Сразу после завершения процесса загрузки первой подложки вторая из кассеты 8 переносится в другой рабочий модуль, в котором также начинается процесс травления. Аналогично выполняется процесс загрузки следующих подложек в остальные рабочие модули. Таким образом, процессы загрузки совмещены по времени с процессом обработки, что является одним из путей повышения производительности оборудования. Прн завершении травления первой подложки контрольное уст-' ройство выдает сигнал прекращения подачи в модуль ВЧ-напря-' жения и напуска рабочего газа.

Через некоторое время, необходимое для откачки из модуля газообразных продуктов травления и достижения высокого вакуума, камера открывается и первая обра- вз .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов вопросов/заданий

Свежие статьи
Популярно сейчас
Как Вы думаете, сколько людей до Вас делали точно такое же задание? 99% студентов выполняют точно такие же задания, как и их предшественники год назад. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6439
Авторов
на СтудИзбе
306
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее