Учебник-20 (1072698)
Текст из файла
12 ас 5.11. Установка ионво-плазменного и плазмокимического травления молула- ого типа о травления (рис. 5.10) обеспечиваст высокую производительюсть процесса, однако с повышением требований к точности об1аоотки и чистоте технологической среды при требовании высокой 1ронзводительпостн необходимо переходить к такому структурносомпоновочному варианту устанонки, при котором обеспечивался 1ы принцип индивидуальной обработки с сохранением постоянного апзреження н рабочем объеме в сочетании с одновременной обрайгггкой нескольких подложек. На рис. 5.11 изооражена схема установки для ионно-плазменного н плазмохимического травления микроструктур.
сочетающая Высокую производительность с высокой точносттпо обработки. Установка состоит нз семи рабочих модулей 2 с ВЧ-злектродами 17, 91 .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
