Учебник-8 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-8" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
/2 П М Э д 7 б б 4 3 2 и Рис. 6.!. Установки «Везувий-8» экстрагнруюшую и фокусируюшую оптику, устройства ускорения, сепарации по массам и сканировании ионного пучка, приемную камеру, вакуумную систему, источники питания, устройства контроля и управления технологическим процессом. На рис. 5.1 изображена схема установки ионной имплантации «Везувий-8», предназначенной для имплантации больших доз (6,25 10'и ион/см') ионов массой до 200 а.
е. м и током 2...5 мА при энергии ионов до 100 кэВ в производстве ИС:нз подложках диаметром 75, 100 и !50 мм. Осповныс элементы установка: ионный источник 1, электромагнитный масс-сепаратор 2, устройство магнитного сканирования 3, система ускорения 5, приемная камера 10. Ионный источник 1 предназначен для получения легирующих ионов В', Р', Аэе, Хпэ н 5Ъ". По принципу действия является дуговым с прямоканальным катодом. Дуговой разряд возбуждается в магнитном поле напряженностью Н=15 кА/м (1200 Э), что веобходимо для повышения эффективности ионизации газов н паров рабочих веществ. Извлечение ионного пучка осуществляется при помощи трехэлектродной шелевой оптики.
Ионный пучок, вышедший из источника ионов, ускоряется и поступает в устройство, чувствительное к массе ионов, — масс-сепаратор. Опо необходимо для удаления многозарядных ионов н ионов нежелательных при''вэесей. Масс-сепаратор 2 представляет собой электромагнит секторнпго типа с углом поворота пучка 1!О', радиусом равновесной траЬктории 300 мм и межполюоным зазором 50 мм. Наибольшая на- 69 .
