Учебник-7 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-7" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Рнс. 4.12. Цнклограммв давлений в установке осаждения слоев при по. ннженном давлении к за 75 75! !! ! ! ! ! ! ! ! !! 7 5 ? т 75 !! ! ! ! !! ! ! ! 5757 а ный вентиль 18, Маслоочиститель 14 необходн" для увеличения ресурса работы насоса. Система очистки выброса состоит из маслоотражателя 13, фильтра 12 и поглотителя 11. Вакуумный агрегат ЛВР-160, маслоочистнтель и система очистки выброса объединены в единый откачной пост, размещенный во вспомогательном помещении. Газовая и вакуумная системы обеспечивают проведение основных операций цикла осаждения слоев в соответствии с циклограммой (рис. 4.12). После загрузки подложек в рабочую зону (этап 1) н откачки реактора до предельного остаточного давления 1...3 Па (2) следует его продувка аргоном (3) и контроль натекания (4).
Регулировка элементов газовой системы сопровождается напуском реагентов в байпасную линию (6), вслед за чем следует переключение потока в реактор и осаждение слоев (6). После осаждения слоя требуемой толщины поток реагентов снова переключают на байпасную линию и после откачки реактора до предельного давления и его продувки следует разгерметизация (7) и выгрузка пластин из реактора (8). Откачиваемый из реактора газовый поток содержит непрореагнровавшие исходные вещества, газообрззные продукты реакций н твердые частицы либо осаждаемого материала (нитрида кремния. поликремния, диоксида кремния), либо рабочих продуктов реакции (например, хлорнстый аммоний).
Поэтому вакуумные насосы должны быть стойкими к воздействию корродирующих веществ и механических загрязнений, иметьвысокуюнадежиость,малый вес и габариты. Вакуумные агрегаты обычно включают двухроторный насос (насос Рутса) и механический насос с вакуумным уплотнением (пластинчато.роторный или золотниковый). Конструкции насосов, их возможности и ограничения рассмотрены в и 6.1. 6 — 6261 66 .