Учебник-6 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

га гу Рнс. 4.! !. Схема установки длв осажденнн слоев при поннгкеггггом давлении вых смесей требуемого состава. При настройке аппаратуры газо-''-",.'! вой системы смеситель через байпасную линию 10 соединяется с: '! откачной системой, а в рабочем режиме — с реактором !. Кварцевая труба реактора с помощью резиновых уплотнений закрепля-.'...".! ется в водоохлаждаемых вакуумных шлюзах 3 и 24, между кото;,,",: рыми размещен резистнвпый нагреватель (электронечь) 2.

Подача '!;". газов в реактор и загрузка-выгрузка пластин осуществляется через .~ шлюз 3. В откачном шлюзе 24 установлен датчик давления 22 и;:.':-,' блок нз трех термопар 23 для контроля температуры реактора Ко-:-,; личество и назначение каналов рабочих газов определяется видом.:л процесса осаждения.

Трсбовнггия к газовым системам устагговок",'с осаждения слоев прн пониженном и атмосферном давлении во мно-''ст. гом схожи. Отличием является лишь то, что в системах с пони,::-з~ женным давлением между реактором и газовой системой устанав-:2 ливают натекатели, с помощью которых регулируется расход газа;:.,'„ Более подробно конструкции основных элементов газовых систем~',; рассмотрены в Е! 6.4, 6.5.

Вакуумная система установки содержит вакуумный агрегат 16хчч (модель АВР-!50 или АВР-50), состоянтий из двухроторного на-,'"-~~в соса !7 и механического насоса 15 с масляным уплотнением. Пе~~~ ред агрегатом расположены ловушка 21 и фильтр 20, улавливаКтаь, щие продукты реакции, регулятор быстроты откачки 19, вакууме~~с 04 .