Учебник-4 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

а) б) ййис. 4.9. Способы пронеденнн жидкостной эпнтаксин: а — с вращающимся «онтейнерон; б — с устройством пенальнаго типа; в — шибериого типа 4.10,а. Загрузка и выгрузка шихты и подложек происходит в обес-: пыленных боксах 1 с помощью автоматизированных устройств 3,: 7. Газовые завесы 4 предотвращают попадание атмосферного воз- ' духа в реактор 5. В корпусе установки размещены блоки управле- .;. ния газовой системой 2 и регулирования температуры 6. Реактор установки выполнен в виде трубы 3 (рис. 4.10,б), в ко-,' торой закреплены кварцевые направляющие рейки 4 для переме-: щения контейнеров пенального типа. Контейнеры включают графитовые кассеты 10 для подложек 9 и графитовые ванны 11 с раст- ';, вором-расплавом 8.

В каждой кассете выполнена щель 2, через:. которую может проходить луч от источника 1 на светодиод 7.;: Сигнал от фотодиода через систему управления передается меха- ' низму б, который перемещает ванну 11 до совмещения раствора-,'., ,расплава с подложками 9.

По истечении времени, необходимого': лля наращивания эпитаксиальиого слоя, механизм возврата 5 пе- ' ремещает ванну 11 в исходное положение на кассете, удаляя ос-:., татки пепрореагировавпйего раствора-расплава. После прохожде-:: ния зоны охлаждения контейнеры следуют в зону разгрузки плас-.': тин. Г!роцесс зпнтаксии проводится в смеси газов азота н водо- = рода. 7 х 3 4 б у 4 3 р а атис. 4.10. Установка длн жидкостной эпитаксни: а общий вид; б — принципиальная сиена .