Учебник-29 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-29" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Рас. 525. Магистральао-молулькый комплекс МЛЭ эпитаксиальный рост слоя н осаждение защитного покрытия це"' лесообразно не в одном вакуумном объеме, а в разных с пере: дачей подложек в вакуумной транспортной магистрали. Создан магистрально-модульный комплекс МЛЭ (рис. 5.25)„;: который обеспечивает проведение в разных технологических мо; дулях операции подготовки подложек (модуль 2), молекулярно-." лучевой эпитаксии (модуль 7), получение диэлектрических по,", крытий или металлизации (модуль 3) в едином технологическом',' цикле в условиях сверхвысокого вакуума без вскрытия рабочнк! камер.
Все модули снабжены необходимыми для проведения тех.. нологнческих операций аналитическими средствами контроля па-4) верхности и технологической среды. Подложки поочередно передаются из загрузочного модуля 1 в! вакуумную транспортно-загрузочную магистраль 4 и затем с по-) мощью манипуляторов 6 переносятся последовательно в рабочий1 модули 2, 7 и 3.
Обработанные изделия выгружаются через мо'-:; дуль 5. В комплексе предусмотрена кассетная загрузка подложек (по: 10 подложек в кассете) Он может быть дополнен другими мол,;. дулями для выполнения каких-либо новых технологических операций изготовления БИС и СБИС в вакууме. Помимо разрабо-," танного варианта вакуумного транспортера, жестко соединенног" со всеми входящими в магистрально-модульный комплекс каме,,': рами, существует вариант с гибкой межагрегатной связью, пре.„ дусматривающнй использование герметичных кассет-накопите,' лей и применение промышленных роботов. 124 .
