Учебник-26 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

разрядных насосов 51М1 и ХМ2,а форвакуумный насос Х1подключеп к откачной системе вместе с ловушками В1 и В2. Объем ЭОС разделен вакуумным затвором Ч6, который позволяет получать и непрерьгвно поддерживать в верхней части ЭОС более высокий вакуум, что способствует более долговечной рабоге катодного узла. Управление процессом откачки осуществляется с помощью клапанов Ч1 ...Ч5, натекателя ЧГ, вакуумметров Р1... РЗ. Принцип работы установки вакуумной сварки заключается в поочередной сварке корпусов ИС, установленных на оправке 3 и получающих вращение вокруг своей оси с помощью привода М!.

После обработки одного прибора карусель 4 с помощью привода М2 и ходового винта 5 перемещается в продольном направлении на шаг и производится сварка следующего корпуса. После обработки всех размещенных на оправке 3 корпусов привод М1 выводится нз зацепления с оправкой и вся карусель 4 с помощью привода МЗ поворачивается на определенный угол, «подставляя» следующую оправку с приборами под ЭОС.

Привод М1 вводится в зацепление с этой оправкой, н начинается обработка. При про. дольном перемещении карусели 4 привод МЗ выводится из зацепления с ней. После обработки всей партии приборов затворы Ч5 н Чб закрываются, сварочная камера разгерметизируется, дверца 6 откатывается и производится смена изделий.

В верхней части ЭОС высокий вакуум поддерживается постоянно. Прн прецизионной сварке необходимо с точностью не хуже 10...100 мкм выставлять положение свариваемого стыка с положением электронного луча, Обычные способы установки пучка, основанные на визуальном наблюдении, дают удовлетворительные 1гезультаты только прн сварке больших партий одинаковых издейий. В других случаях необходимо использовать специальные йпособы (как правило, автоматические) для поиска стыка при йаведепии н непосредственно в ходе самой сварки.

Автоматическое наведение и отслеживание сварнааемого шва может быть осуществлено путем развертки рабочего пучка в те'Левизиопный растр по поверхности и использования для «прицедиванияь изображения окрестностей шва в отраженных электройах. Чтобы в полной мере использовать преимущества злектронйо-лучевой сварки, следует стремиться к уменьшению затрат вре'Меии на вспомогательные операции, такие как загрузка и вы1рузка деталей, их перемещение, откачка рабочего объема и т.

п. Нри сварке корпусов ИС можно, например, вводить их через 41плюзовые камеры или с помощью магазинных загрузочных уст:14ойств без разгерметизации рабочей камеры. Одной нз перспективных областей применения электронных 'йучков является электронная литография. Этот тип оборудовании йь 11$ .