Учебник-24 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-24" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
помощью устройства 46. При необходимости в шлюзовой ка' можно обеспечить ионную очистку подложек. В рабочую кам ' 47 подложки поступают через щелевой вакуумный затвор. П' менение нескольких магнетронных источников распыления ' имеющих протяженную форму, позволяет быстро, с высокой р'" иомерностью по толщине и высокой чистотой получать пленки ' мого разного состава. Можно получать многослойные, многок понентные, магнитные, диэлектрические и многие другие ви', тонкопленочных элементов ИС, Разработка вакуумных автоматических линий требует ба" ших затрат времени и средств, а технология изготовления меняется довольно часто. Поэтому конструкция вакуумных ав,"' матических линий должна обладать гибкостью, легко перестр ' ваться на реализацию новых технологий.
Этому способствует дульный принцип построения линии (рис. 5.!6). Набор унифицированных элементов — модулей: подложкон тела 1, загрузочной камеры 2, шлюзового загрузочного устрой,' ва 6, рабочего модуля 3, промежуточной камеры 8, загрузоч,, разгрузочного устройства 5 и вакуумных затворов 4 позвол '. компоновать УВН практически всех типов, показанных на спи '' ли развития УВН (рис. 5.15). Так, можно собрать установку ц риоднческого действия (рис. 5.16,а), возвратного (рис. 5.!6,б),;:,; прямоточного шлюзования (рнс.
5.!6,в). Пополнив комплект дулей автоматическим загрузчиком 7 (рис. 5.16,г), можно по "' чить вакуумную автоматическую линию, которая может б встроена в гибкое автоматическое производство ИС. 5.4. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ, ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ И МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ Использование электронных пучков в качестве универсаль го технологического инструмента позволяет не только измен свойства обрабатываемых материалов, но и очень точно конт лировать эти изменения.
С помощью электронных пучков мож нагревать поверхность полупроводниковых подложек для пх об' гаживания и очистки, отжигать подложки после ионной нмпл ' тации, расплавлять материал в электронно-лучевых испарител при нанесении топких пленок, при сварке корпусов и приваи выводов ИС. Для получения особо чистых материалов, примен'. мых в производстве ИС, широко используется вакуумная эле ровно-лучевая плавка.
Электронные пучки малых диаметров пользуются для формирования элементов топологии ИС при лучении имп электронорсзиста, а также для контроля химнчес го состава и размеров элементов прн Оже.спектроскопии п ра розой электронной микроскопии. Кроме того, с помощью эле' ронных пучков производят возбуждение и поддержание плаз ' !! 2 .