Учебник-23 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-23" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
лишь в пределах обработки одной кассеты, вмещающей, как мыло, 25 подложек. При выгрузке всех подложек из кассеты (рпс. 5.!5д) необходимо время на разгерметизацию шлюзовой ' меры 34, замену кассет и откачку шлюзовой камеры. Этих ' тсрь времени можно избежать при создании вакуумных 'автоатических линий для изготовления тонкопленочных племен'.а ИС, Па рис. 5.15,е показана вакуумная автоматическая линия .'-1200 фирмы ) еуЬоЫ-Негаеиз (ФРГ), состоящая из модулей '1рузки 51 и выгрузки 49, шлюзовых модулей 45 и 50, модуля ':еждеиия пленок 47.
В таких линиях может осуществляться как дивидуальная, так и групповая обработка пластин большого 'аметра. Подложки, закрепленные на плоских подложкодержалях 44, через дверцу в шлюзовой камере 45 автоматически заужакатся в нее. Там может производиться нагрев подложек с г 5 и ь у, ь л 5 7 7 ; Ь,!6. Варианты модульной компоновкн установок нанесения тонких пленок 111 Й: .