Учебник-21 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

промежуточной вакуумной камеры 4 с перегрузочным роботом 3.'ф и шлюзовой загрузочной камеры 5. Через патрубки 7 и 15 произ-;.~~ водится раздельная, независимая откачка каждого рабочего мо-:4 дуля 2, промежуточной камеры 4 и шлюза 5. Рабочие модули от-'~ делены от промежуточной камеры затворами 13, шлюзовая ка-,'.;."' мера отделяется от вакуумного объема при загрузке и выгрузке."!;" плоскими затворами 9, которые с помощью механизма подъема 10! прижимаются к нижней стенке шлюзовой камеры 5. Установка имеет следующие особенности: с целью повышения ".~ точности обработки в каждый модуль 2 для травления помеща- ! ется по одной подложке и режим травления контролируется в.~ каждом модуле; для увеличения производительности используется 4 одновременная обработка в нескольких (до семи) модулях в ре-;.

.3 жиме последовательной загрузки при условии минимального вре- ! мени ожидания прн транспортировке; чтобы улучшить воспроиз- "'. водимость результатов травления и обеспечить автоматическое; обслунгивание, все рабочие модули должны быть постоянно отка- ':, чаны до высокого вакуума, перегрузка пластин осуществляется вакуумным роботом, полностью исключающим контакт оператора '~ с обрабатываемыми изделиями; обеспечена возможность обработ- '.'' ки подложек диаметром 75...150 мм. Принцип действия установки заключается в следующем. В шлю- . зовую камеру 5 через крышку 6 вводятся две кассеты 8 с подложками и через патрубок 7 производится откачка камеры 5.

После, завершения откачки кассеты 8, установленные на плоских затворах 9, с помощью механизма пошагового перемещения !О переводятся: в промежуточную камеру 4, в которой постоянно поддерживается высокий вакуум. С помощью робота 3 и поворотной планки 12, механизма съема !1 первая подложка из кассеты переносится в ' один из рабочих модулей 2 через открытый затвор 13, После установки подложки !8 на электрод 17 рука робота возвращается в промежуточную камеру 4, рабочий модуль закрывается и в него ' через натекатель ! подается рабочий газ.

В модуле устанавливается заданное давление, от источника 16 подается на электрод 17 ' ВЧ-напряжение, и начинается процесс травления. Сразу после завершения процесса загрузки первой подложки вторая из кассеты 8 переносится в другой рабочий модуль, в котором также начинается процесс травления. Аналогично выполняется процесс загрузки следующих подложек в остальные рабочие модули. Таким образом, процессы загрузки совмещены по времени с процессом обработки, что является одним из путей повышения производительности оборудования. Прн завершении травления первой подложки контрольное уст-' ройство выдает сигнал прекращения подачи в модуль ВЧ-напря-' жения и напуска рабочего газа.

Через некоторое время, необходимое для откачки из модуля газообразных продуктов травления и достижения высокого вакуума, камера открывается и первая обра- вз .