Учебник-20 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-20" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
12 ас 5.11. Установка ионво-плазменного и плазмокимического травления молула- ого типа о травления (рис. 5.10) обеспечиваст высокую производительюсть процесса, однако с повышением требований к точности об1аоотки и чистоте технологической среды при требовании высокой 1ронзводительпостн необходимо переходить к такому структурносомпоновочному варианту устанонки, при котором обеспечивался 1ы принцип индивидуальной обработки с сохранением постоянного апзреження н рабочем объеме в сочетании с одновременной обрайгггкой нескольких подложек. На рис. 5.11 изооражена схема установки для ионно-плазменного н плазмохимического травления микроструктур.
сочетающая Высокую производительность с высокой точносттпо обработки. Установка состоит нз семи рабочих модулей 2 с ВЧ-злектродами 17, 91 .