Учебник-2 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

И !Р 2 Рис. 2.!3. При~нтияиальная схема автомата снятия фасон ты выгрузить на транспортер илн с транспортера перегрузить в касету, например в линиях «Лада». Г1одъем н опускание плат- формы 2 с кассетой 3 осуществляется электродвигателем 16 че- рез ходовой винт 15, Платформа снабжена линейной 14 с прямо- угольными прорезями, с противоположных сторон которой за- креплены свето- и фотодиоды, фиксирующие положение кассеты, в котором она должна остановиться для выгрузки пластины на транспортер, образованный двумя пассиками 5, натянутыми меж- ду шкивами 4 и 6. Пластина из кассеты по транспортеру подает- ся к автооператору, который перегружает ее на столик 13 меха- низма шлифовки, снабженный вакуумной присоской. Столик вра- щается от электродвигателя 12 с частотой несколько десятков оборотов в минуту, к торцу пластины прижимается алмазный круг !! с треугольным пазом, приводимый во вращение двигате- лем 10 н обеспечивающий снятие фиски с двух сторон пластины.

Затем она выгружается автооператором на выходную ветвь 8 транспортера и в приемную кассету, При необходимости автомат может быть включен в автомати- ческую линию как технологическая позиция, для чего механизмы загрузки и разгрузки снимаются и на шкивы входного и выход- '2 ного транспортеров надеваются пассики, обеспечивающие их про- должениее. Полуавтомат полирования пластин (рис. 2.14) предназначен для окончательного механического и химико-механического поли- рования кремниевых пластин диаметром до Г50 мм.

Обрабаты- ваемые пластины наклеены на блок 4, закрепленный на прижим-,' ном диске 3. Полуавтомат имеет четыре прижимных диска, кото- " 32 .