Учебник-18 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

~ — ® а Д-~ Рвс. 8.10, Схема установки плазмохимичаского травлении нз бустерного 5!В1 и механического г!11 нас<шов, водоохлаждаемой 'В%1 и азотной В!.1 ловушек, системы пневмоуправляемых клапа,нов сгР!,. ХРЗ, вакуумного затвора ЪТ! и натскатсля 7Р1. Контполь давления прн откачке осуществляется термоэлектрическими Т1...РТЗ и магнитным РМ! вакуумметрами. Технологические газы подаются в камеру через отверстие в крьппке 3 н с помощью натекателя ггР2 устанавливается рабочее 'давление 1...!О Па. На электрод 4 через металлический стержень ,21 подается ВЧ-напряжение. Электрод 4 и стержень 21 охлаждаются проточной водой, подаваемой через коллектор 20. Между '!электродом 4 и заземленной крышкой 3 возбуждается ВЧ тлеюст!ц~й разряд, который активирует рабочий газ.

Образующиеся рега кцлонно-способные радикалы взаимодействуют с материалами, одвергаюшимися тра~влеплю, и на поверхности подложек происхосгй!!т химические реакции. Образующиеся при этом летучие соедифвния вместе с отработанными технологическим газами удаляют- .'я вакуумным агрегатом. ',1::,, Для повышения равномерности травления одновременно обра-' 'чтываемых пластин вводится врагцение электрода 4. Движение составной вал, внутри которого размещены труба для подачи лаждаемой воды, стержень 21 и изолятор 5, а по периметру дис' установлеп экран 2, передается от электродвигателя М2 через ' Иическую и цилиндрическую зубчатые передачи и обгонную муф- ,10.

Частота врагцения вала составляет 5 мин-'. Герметизация йщенпя осуществляется манжетным вводом движения в вал'и 15. ,,'УПрп загрузке и выгрузке подложек вал с электродом 4 соверят поворот на определенный угол с помощью храпового колеса 89 .