Учебник-15 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-15" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
нижние клапаны 5 обоих шлюзов опускаются (герметизация при- $ емной камеры при этом осуществляется уплотнительными элемен-:~ тами верхних клапанов) и одна подложка соскальзывает на сто- ~ лик 11, а другая — в свободную ячейку кассеты 3. Герметизация,11 полостей шлюзов 6, соединяющихся при закрытых клапанах с объ- й емом приемной камеры 8, осуществляется с помощью гибких мем- '~ бран 16. Столик 11 с новой подложкой переводится в положение имп-,'~ лантации. Наличие подложки на столике контролируется фото- ~ датчиком 9, После обработки всей партии подложек стойки 2 пе-,~ реводятся в вертикальное положение и производится смена кассет.,''~! После проведения процесса имплантации необходим отжиг.", пластин, так как возможно образование радиационных дефектов,,-"; нз-за того, что не все внедренные атомы занимают электрически з активную позицию.
Наиболее эффективен импульсный отжиг, воз- ~ действующий только на приповерхностный легированный слой, на-':" пример электронный, лазерный или галогенными лампами. При эксплуатации установок ионной имплантации особое вни- У,, мание должно быть уделеиоохранетрудаоператоров. Чтобы обес-,~ печнть нормы радиационной безопасности, применяется встроенная ';,,.' рентгенозащита, изготовленная из листового свинца толщиной" 6 мм и свинцовистой резины. Она может быть надежной при условии, что вторичные электроны, создающие рентгеновское излуче-т' ние, не набирают энергии свыше 300 кэВ.
Это может быть достиг-'1~ путо путем разделения высоковольтной системы ускорения на не-:, сколько блоков. Кроме того, в ионопроводе необходимо разместить ~ магнитные ловушки, отклоняющие вторичные электроны с осн:.",, ионопровода и не позволяющие им набирать высокую энергию. 5.2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ВАКУУМНОПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ МИКРОСТРУКТУР Методы жидкостного травления в силу их недостаточно высо-,'~ кой разрешающей способности не удовлетворяют требованиям':~ БИС и СБИС.
Наиболее эффективны методы так называемой су-'.-. хой технологии, в основе которых лежит взаимодействие газараз-'1 рядной плазмы с твердым телом. Компонентами плазмы могут яв-~~ ляться ноны, электрически нейтральные радикалы, обладающие! высокой химической активностью, а также фотоны, реакционно.й активные фрагменты молекул, электроны. По физико-химическому принципу различают три метода трав4 ления: ионное, ионно-химическое и плазмохнмическое. Ионновх травление заключается в разрушении и удалении обрабатываемогп,' материала за счет физического взаимодействия 1бомбардировки1, ускоренных ионов инертного газа с поверхностью полупроводнико,": вой подложки.
Энергия ионов составляет при этом 0,5 ... 10 кзЬ,' 80 .