Учебник-13 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-13" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
«из кассеты в кассету»). Пневмоцилиндром 15стойка 2 снедающей .", кассетой 3 и приводом 1 подачи кассеты переводится в наклонное ~ положение. При каждом перемещении на шаг наклоненной подаю- ,'." щей кассеты подложка, совмещенная в плоскости с пазом шлюза:. 5, под действием собственного веса соскальзывает на нижний: клапан 5. При этом нижний клапан 5 плотно прижат своими уп-:. лотнительнымн элементами к внутренней стенке шлюза и не допускает разгерметизации приемной камеры 8.
Веркний клапан 4 -: поднят в верхнее положение, давая подложке возможность со- Рис. 5.6. Использование робота длн смены диска с подложками 78 .