Учебник-11 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-11" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
гы 14 обеспечивается электроприводом 10 и контролируется дат-: чиками положения. Смена кассет !4 производится при закрытом 1 затворе 16 через дверцу 15. В снльноточных установках для имплантации больших доз ионов наиболее эффективны комбинированные системы сканирования. При этом упрощается конструкция приемной камеры, соз-,: дается возможность для эффективного охлаждения подложек за, ;4 ВидЯ '4 пью Рис. 5.4, Приемная камера устанонкн ионной имплантации с механическим ска- ниронанием 76 .