Учебник-10 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))

Для разделения рабочих объемов установки и шлюзового загрузочного устройства при раздельном вскрытии их на атмосферу ' применены затворы поворотного типа с электромеханическим при' водом УМ6 и ЧМ7. Измерение давления при создании требуемого . разрежения и при проведении имплантации осушествляется термопарными РТ и ионизацнонными РА вакууметрами.

Раздельная откачка приемной камеры 3 и источника ионов 1 необходима в связи , с тем, что оии находятся под разными электрическими потенциа' ламн. Вакуумная система работает в автономном режиме по за.:: данной программе. Важнейшей характеристикой оборудования для ионной имплан! тации является равномерность легнрования полупроводниковых ! пластин, которая во многом определяется методом сканирования :,', ионного пучка. В высокоэнергетических установках, когда откло! нение ионов приводит к значительному увеличению габаритов от:, клоняющей системы, наиболее эффективно полностью механнчес- 1' кое сканирование. Приемная камера с такой системой сканирова- 1 ппя показана на рис.

5.4 В приемной камере 4 расположен барабан 8 с кассетами под»;;,' ложек 7. Барабан 8 совершает вращательное н возвратно-посту- 1 нательное движение относительно неподвижного ионного пучка 6. '~ Конструкция барабана представляет собой так называемое колесо ~: Ферриса, обеспечивающее постоянный угол падения ионов на дви,' жущиеся подложки (рис. 5.4, внд А). Этого добиваются постоян~ч ным относительным перемещением образующих барабана 8 с по:; мощью качательного движения кривошнпного вала 9, сообщаемого :;, ему гидроцнлнндром 22. Вращение на барабан передается через вал 17 и зубчатую ре- 7' фменнучо передачу 24 от электропривода 3. Герметизация вала 17, Ц;как и кривошипного вала 9, осуществляется уплотнительными ман)~жетамн из резины. Для точной остановки барабана в положении '-~загрузки и выгрузки подложек используются как датчики положеЭчйпня, так и индикатор для визуального коятроля.

Возвратно-поступательное движение барабана совершается при ~;помощи электропривода 21, движение от которого через зубчатую !~~ременную передачу 20 и ходовой винт 2 передается на подвижную ,=':хплнту 19, которая перемещается по направляющим 1. Герметик ~~~узная штока 18 осуществляется эластомерными уплотнительными "~прокладками 5 круглого сечения. Вместе с плитой 19 персмещаыотся и закрепленные на ней приводы 3 н 2!. Жесткость конст,.;!!вукцин обеспечивается неподвижной плитой 23.

ф' Высокая производительность установки и воспроизводимость ;;~~Фараметров имплантировапных слоев достигаются благодаря при~~4441енспию шлюзового загрузочного устройства 11, отделенного ог Ъфабочей камеры 4 вакуумным затвором 16. Г1одложкодержатели 7 "«йвгружаются в барабан 8 из кассеты 14 с помощью привода 12 и ,,феханизма загрузки-выгрузки 13.

Пошаговое перемещение кассе- 75 'Ф ' .