0750-concl (1143767), страница 4

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 4)

Результаты работы рекомендуются для использования на предприятиях электронной промышленности, занимающихся производством различных микроэлектронных приборов и~или разработкой современного высокотехнологического оборудования, в том числе АО «Ангстрем» (г. Москва„Зеленоград)„АО «НПП «Радар ммс» (г. Санкт-Петербург), АО 16 «Светлана-Электрон прибор» (г. Санкт-Петербург), ПА О «Микрон» (г.Москва, Зеленоград)„АО «НИИМЭ» (г. Москва, Зеленоград), АО «ПКК Миландр» (г.Москва, Зеленоград), АО «НИИМА «Прогресс» (г.

Москва), АО НИИ «Гириконд» (г. Санкт-Петербург), ФГУП ЭЗАН (г. Черноголовка), ОАО «Авангард» (г. Санкт-Петербург). Кроме того, полученные результаты представляют интерес для использования в НИИ и университетах, занимающихся исследованиями процессов взаимодействия плазмы с поверхностью материалов и разработкой приборов микроэлектроники и микросистемой техники, в частности в НИЯУ МИФИ, Научно-образовательном центре по фундаментальным проблемам приложений физики низкотемпературной плазмы, Институте общей физики им. А.М, Прохорова РАН, Национальном исследовательском университете МИЭТ, Томском политехническом университете, Институте радиотехники и электроники им. В.А.

Котельникова РАН„Институте физики микроструктур РАН, Томском государственном университете систем управления и радиоэлектроники, Удмуртском государственном университете, СанктПетербургском государственном электротехническом университете, Московском физико-техническом институте, Ивановском химико- технологическом университете, Физико-технологическом институте им. К.А. Валиева РАН и т.д.

Оценка достоверности результатов исследования выявила, что: результаты получены с использованием современного технологического и аналитического оборудования, а также с применением статистических методов научного планирования экспериментов и обработки полученных результатов; достоверность полученных результатов подтверждается высокой повторяемостью результатов относительно определения скорости травления и формы профилей вытравленных областей в параллельно проводимых сериях экспериментов, а также хорошей согласованностью всех полученных результатов как между собой, так и с опубликованными другими авторскими 1? коллективами результатами в тех случаях, когда такое сравнение представлялось возможным.

Личный вклад соискателя состоит в: поиске и анализе литературных данных по теме исследования, проведении экспериментов по плазмохимичес кому травлению монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития, участии в создании универсальной установки плазмохимического травления с источником индуктивно связанной плазмы, в разработке и создании оригинального подложкодержателя, обеспечивающего нагрев и поддержание температуры в диапазоне от 20 до 400 'С, обработке, интерпретации полученных экспериментальных данных, в обсуждении результатов работы и подготовке публикаций по теме диссертации.

Диссертационный совет считает, что диссертация Осипова Артема Арменаковича представляет собой завершенную научно-квалификационную работу, которая соответствует критериям, установленным п,п. 9 — 14 «Положения о присуждении ученых степеней», утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 24 сентября 2013 г. № 842 1ред. от 01.10.2018, № 1168), а именно содержит решение актуальных задач по развитию и совершенствованию технологий плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития. Экспериментально закономерности установлены основные физико-химические процессов плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития, на базе которых разработаны высокопроизводительные технологии плазмохимического травления, успешно опробованные при изготовлении нескольких микроэлектронных устройств. Автор диссертационной работы Осипов Артем Арменакович, заслуживает присуждения искомой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».

техники» ~, ХТй"ц ,~,,»".., „: „:." '„;;":, Ъ Заместитель председателз ~'„~",:,:::;~. ~,'' ' - "-"'" диссертационного сов~~,"' "':., ",~ф~'~, Д 212.229.02, д.х.н., профе ' 'р.",;".",' ,'",-.'-„,,;, Михайлов Михаил Дмитриевич Ученый секретарь диссертационного совета Семенча Александр Д 212.229.02, к.х.н. Вячеславович 16 мая 2019 г.

При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 19 человек, из них 5 докторов наук по специальности рассматриваемой диссертации, участвовавших в заседании, из 19 человек, входящих в состав совета, проголосовали: за присуждение ученой степени 19, против присуждения ученой степени О, недействительных бюллетеней О. На заседании 16 мая 2019 года диссертационный совет принял решение присудить Осипову Артему Армеиаковичу ученую степень кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — «Технология н оборудование для производства полупроводников„ материалов и приборов электронной .

Характеристики

Список файлов диссертации