0750-concl (1143767), страница 4

Файл №1143767 0750-concl (Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности) 4 страница0750-concl (1143767) страница 42019-06-23СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 4)

Результаты работы рекомендуются для использования на предприятиях электронной промышленности, занимающихся производством различных микроэлектронных приборов и~или разработкой современного высокотехнологического оборудования, в том числе АО «Ангстрем» (г. Москва„Зеленоград)„АО «НПП «Радар ммс» (г. Санкт-Петербург), АО 16 «Светлана-Электрон прибор» (г. Санкт-Петербург), ПА О «Микрон» (г.Москва, Зеленоград)„АО «НИИМЭ» (г. Москва, Зеленоград), АО «ПКК Миландр» (г.Москва, Зеленоград), АО «НИИМА «Прогресс» (г.

Москва), АО НИИ «Гириконд» (г. Санкт-Петербург), ФГУП ЭЗАН (г. Черноголовка), ОАО «Авангард» (г. Санкт-Петербург). Кроме того, полученные результаты представляют интерес для использования в НИИ и университетах, занимающихся исследованиями процессов взаимодействия плазмы с поверхностью материалов и разработкой приборов микроэлектроники и микросистемой техники, в частности в НИЯУ МИФИ, Научно-образовательном центре по фундаментальным проблемам приложений физики низкотемпературной плазмы, Институте общей физики им. А.М, Прохорова РАН, Национальном исследовательском университете МИЭТ, Томском политехническом университете, Институте радиотехники и электроники им. В.А.

Котельникова РАН„Институте физики микроструктур РАН, Томском государственном университете систем управления и радиоэлектроники, Удмуртском государственном университете, СанктПетербургском государственном электротехническом университете, Московском физико-техническом институте, Ивановском химико- технологическом университете, Физико-технологическом институте им. К.А. Валиева РАН и т.д.

Оценка достоверности результатов исследования выявила, что: результаты получены с использованием современного технологического и аналитического оборудования, а также с применением статистических методов научного планирования экспериментов и обработки полученных результатов; достоверность полученных результатов подтверждается высокой повторяемостью результатов относительно определения скорости травления и формы профилей вытравленных областей в параллельно проводимых сериях экспериментов, а также хорошей согласованностью всех полученных результатов как между собой, так и с опубликованными другими авторскими 1? коллективами результатами в тех случаях, когда такое сравнение представлялось возможным.

Личный вклад соискателя состоит в: поиске и анализе литературных данных по теме исследования, проведении экспериментов по плазмохимичес кому травлению монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития, участии в создании универсальной установки плазмохимического травления с источником индуктивно связанной плазмы, в разработке и создании оригинального подложкодержателя, обеспечивающего нагрев и поддержание температуры в диапазоне от 20 до 400 'С, обработке, интерпретации полученных экспериментальных данных, в обсуждении результатов работы и подготовке публикаций по теме диссертации.

Диссертационный совет считает, что диссертация Осипова Артема Арменаковича представляет собой завершенную научно-квалификационную работу, которая соответствует критериям, установленным п,п. 9 — 14 «Положения о присуждении ученых степеней», утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 24 сентября 2013 г. № 842 1ред. от 01.10.2018, № 1168), а именно содержит решение актуальных задач по развитию и совершенствованию технологий плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития. Экспериментально закономерности установлены основные физико-химические процессов плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития, на базе которых разработаны высокопроизводительные технологии плазмохимического травления, успешно опробованные при изготовлении нескольких микроэлектронных устройств. Автор диссертационной работы Осипов Артем Арменакович, заслуживает присуждения искомой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».

техники» ~, ХТй"ц ,~,,»".., „: „:." '„;;":, Ъ Заместитель председателз ~'„~",:,:::;~. ~,'' ' - "-"'" диссертационного сов~~,"' "':., ",~ф~'~, Д 212.229.02, д.х.н., профе ' 'р.",;".",' ,'",-.'-„,,;, Михайлов Михаил Дмитриевич Ученый секретарь диссертационного совета Семенча Александр Д 212.229.02, к.х.н. Вячеславович 16 мая 2019 г.

При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 19 человек, из них 5 докторов наук по специальности рассматриваемой диссертации, участвовавших в заседании, из 19 человек, входящих в состав совета, проголосовали: за присуждение ученой степени 19, против присуждения ученой степени О, недействительных бюллетеней О. На заседании 16 мая 2019 года диссертационный совет принял решение присудить Осипову Артему Армеиаковичу ученую степень кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — «Технология н оборудование для производства полупроводников„ материалов и приборов электронной .

Характеристики

Список файлов диссертации

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6392
Авторов
на СтудИзбе
307
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее