0750-concl (1143767), страница 2
Текст из файла (страница 2)
В.И, Ульянова (Ленина)»), Дунаева Анатолия Алексеевича (д.т.н., с.н.с., начальника лаборатории АО «НПО ГОИ им. С.И. Вавилова»), Деркач Михаила Михайловича (к.т.н., ведущего инженера-технолога АО «НПП с<радар ммс»). Николайчук Галины Александровны (к.т.н., начальника отдела наноматериалов и СВЧ приборов на их основе АО «НИИ «Феррит-Домен»), В отзывах указывается, что автором проведен анализ большого объема литературных и экспериментальных данных, а представляемая работа характеризуется высоким научным уровнем, практической значимостью результатов и по своей новизне и актуальности соответствует требованиям Высшей аттестационной комиссии Российской Федерации. В отзыве РЬВ Йоханнеса Центнера содержатся следующие замечания: 1.
За рамками автореферата остался сравнительный анализ достигнутых параметров качества, производительности и энергоемкости с подобными параметрами конкурирующих установок, определяющих мировой уровень развития в области микроэлектроники. Отмечена лишь общая конкурентоспособность предложенной концепции. В отзыве к.х.н. М.В. Куруш кина замечания по автореферату отсутствуют. В отзыве к.х.н. Д.М.
Красовицкого содержатся следующие замечания: 1. Не раскрыт вопрос выбора тех или иных технологических параметров эксперимента в качестве варьируемых факторов при выявлении степени их влияния на скорость травления. 2. Отсутствует единый стиль предоставления единиц измерения температуры. Стр. 4, 6 — это градусы Цельсия, далее — Кельвины, а на 17 стр. снова градусы Цельсия.
3. Метод рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии отмечен как метод анализа образцов после ПХТ, при этом данные по анализу состава поверхности образцов представлены только для ниобата лития. Какие соединения образовывались на поверхности подложек из карбида кремния и кварца'? В отзыве к.ф.-м.н. В.Н. Вьюгинова содержатся следующие замечания: 1. Не совсем ясно, почему при изучении процессов травления кварца влияние температуры подложки исследовано отдельно, а не комплексно с остальными факторами, как в случае карбида кремния и ниобата лития.
2. Не вполне понятно, почему автор предъявляет к нагревателю подложек требование работы на воздухе, в то время как процессы происходят при пониженном давлении в атмосфере газов-травителей. 3, Использованные автором газы-травители, материалы масок для травления охарактеризованы недостаточно и лишь упоминаются в тексте автореферата. 4. Используемые в качестве единиц измерения температуры Кельвины правильнее было бы заменить на градусы Цельсия, наиболее широко применяемые на предприятиях. В отзыве к.т.н.
Б.П. Беленького содержатся следующие замечания: 1. Из текста автореферата не ясно, каким образом измерялась температура поверхности держателя подложки в процессе плазмохимического травления. 2. Непонятно, каким образом определялась завершенность процесса сквозного травления. В отзыве д.т.н. А.В. Корлякова содержатся следующие замечания: 1.
На рис. 7(б) показана зависимость среднеквадратичной шероховатости поверхности ЯС от температуры держателя подложки. Проводились ли аналогичные исследования для %02 и ЕЪЪОз? 2. В таблицах 1, 3 и 5 показаны значения технологических параметров в экспериментах, направленных на их ранжирование по степени их влияния на скорость травления.
Из таблиц видно, что три из четырех параметров, а именно, напряжение смещения, мощность и положение столика, присутствуют во всех трех планах, тогда как четвертый параметр меняется в зависимости от материала: расход кислорода в плане для ЯОз, температура— для ЯС и давление в реакционной камере в случае ниобата лития. С чем это связано? В отзыве д.т.н.
А.А. Дунаева содержатся следующие замечания; 1. В тексте автореферата автор указывает значения давления, при которых получены соответствующие результаты, либо использует словосочетания «увеличение/понижение давления» и др., но не приводит сведений об интервале значений указанного параметра исследования. Может сложиться впечатление, что основная часть экспериментов осуществлялась при каком-то постоянном значении, однако это не удается установить, исходя лишь из данных графика на рис. 8 и пояснений к нему. Вероятно, в содержании второй главы недостает данной информации, ее наличие способствовало бы более полному восприятию дальнейшего материала, 2.
На графике, представленном на рис. 11~6), отмечены 3 интервальные точки, через которые проведена линия сложной формы. Не исключено, что зависимость, которую обсуждает автор, может иметь тенденцию к разделению на участки„однако об этом сложно с большой долей уверенности судить по данным столь малого количества измерений.
В отзыве к.т.н. М.М. Деркач содержатся следующие замечания: 1. К недостаткам работы, судя по автореферату, следует отнести наличие небольшого числа опечаток в тексте автореферата и, по-видимому, в тексте диссертации. В отзыве к.т.н. Г.А. Николайчук содержатся следующие замечания: В автореферате отсутствуют сведения о принципах ранжирования 8 технологических параметров согласно векторному методу оптимизации процесса ПХТ.
На странице 4 применен неудачный термин «регулировка» по отношению к энергии. На рисунках 5 и 9 на гистограммах отсутствуют подписи к горизонтальным осям. Отзыв официального оппонента д.т.н., с.н.е, ВЛО. Киреева, содержит следующие замечания: 1. При формулировке цели работы ~стр. 6, 3-й абзац снизу) автор пишет: «Цель работы состояла в получении новых знаний об основных физико-химических закономерностях процессов плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития на установке с индуктивно связанной плазмой ~ИСП), оснащенной ВЧ генератором с пониженной мощностью 1менее 1000 Вт), и разработке на этой основе технологий глубокого направленного высокоскоростного травления подложек из указанных материалов».
Однако, исходя из полученных в диссертации результатов, следует, что основной объем новых знаний об основных физико-химических закономерностях процессов плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития на установке с индуктивно связанной плазмой (ИСП), оснащенной ВЧ генератором пониженной мощностью (менее 1000 Вт), автор получает в диапазоне температур 1150 — 400) 'С.
Это связано с тем, что стандартное оборудование плазмохимического травления работает в диапазоне температур подложкодержателей 120 — 150) 'С. Поэтому в цели работы желательно отметить расширенный температурный диапазон подл ожкодержателя. 2. В формуле 12.1) 1стр. 43, последний абзац) непонятно в каких единицах измеряется мультиметром величина У. 3. На стр. 44, последний абзац, первая строка опечатка в химических формулах газов напечатано (Аг, ЯГь, СГ~О..)„а должно быть напечатано (Аг, ЯГ,, СГ,/0,). 4. Автор использует и русские, и английские индексы в обозначениях физических величин, например, на странице 67 в таблице 3.2, на рисунке 3.3 и в формуле 3.1, что затрудняет чтение и понимание текста.
5. На странице 73 (первый абзац сверху) используется непонятный термин дп — глубина травления (горизонтальная), а надо использовать термин скорость травления в горизонтальном направлении или величина подтрава под край маски. Официальный оппонент, профессор В.)О. Киреев, также отмечает, что указанные замечания не снижают ценности диссертационной работы, выполненной на актуальную тему, содержащей обоснованные научные результаты, обладающей научной новизной и практической значимостью, и представляющей собой законченную научно-квалификационную работу. Содержание автореферата диссертации и опубликованных работ отражают основные положения диссертационной работы. Диссертация Осипова Артема Арменаковича соответствует требованиям пп.
9-11 раздела Н «Положения о порядке присуждения ученых степеней» № 842 от 24.09.2013 (ред. от 01.10.2018, № 1168), а ее автор заслуживает присуждения искомой ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. Отзыв официального оппонента д.т.н., доцента А.С. Гудовския, содержит следующие замечания: В работе слабо отражены аспекты, связанные с подготовкой образцов к травлению, включая процессы нанесения материалов маски и фотолитографии. В частности, не понятно, чем обусловлен выбор металлов многослойной маски Сг/Си/%, изображенной на рис. 3.2 (стр. 66).
Также отсутствует информация об исходной геометрии маски, которая могла бы быть полезной для подтверждения высказанных в работе предположений о «растраве» в результате химического травления ЯС с приближением то подл ажкодержателя к области плазмы (рис, 4.8) и раз мытия границ травления 1лХЬОз за счет уменьшения вклада физической составляющей травления с удалением подложкодержателя (рис.5.8). Не совсем понятно приведенное на стр. 132 объяснение замедления процесса травления 1 1ХЬОз за счет формирования более толстого слоя 1 1Е.
В случае формирования сплошного слоя нелетучего соединения 1лЕ, который не удаляется за счет воздействия ионов (физической составляющей травления), процесс травления должен резко замедлиться до полной остановки. Помимо достижения максимальной скорости травления в постановке задачи не отражены явным образом основные требования к образцам, исходя из которых, необходимо проводить разработку и оптимизацию технологии травления.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
