0750-1-opbiblio (1143755)
Текст из файла
МККОБРВАУка1 РОСС ььи Я, Киреев Валерий Юрьевич, доктор технических наук, профессор кафедры «Проектирования и конструирования интегральных микросхем» федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», согласен быть официальным оппонентом диссертационной работы Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Д.т.н., профессор кафедры «Проектирования и конструирования интегральных микросхем» НИУ МИЗТ !Киреев Валерий Юрьевич/ ~~ 0" /агС ° Оаеле»ЯВЬ~ОС ГОСУДВГаСТВЕББОЕ ЗВтОБОгББОС ОбрззОВВтельБОС учрсаВлсББО ВысаасгО ОбрааОВВВБВ «ВацБОБальыьВЧ БсслсдОВВтельскББ ТББВсрсвтст «МООБОВскББ ББс"ги ~ ат ОЛСКТВОБВОЙ ТСХББКБ» Шеаала Вл., лл, г.Зелеаегаал, Масааа, ! За.'9а Огрк 1нттзяаззз-.' ;~ ' ' ~,"', " 'Я:.~ У 1;, г а', 'г;гЯ, Председателю совета по защите диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание ученой степени доктора наук Д 212.229.02 на базе федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого», доктору химических наук, профессору С.Е.
Александрову Список основных публикаций Киреева Валерия Юрьевича, доктора технических наук, профессора кафедры проектирования и конструирования интегральных схем федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», официального оппонента по диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Д,т.н., профессор «Проектирования конструирования интегральных микросхем» НИУ МИЗТ кафедры и Киреев Валерий Юрьевич! Подпись Киреева В.Ю. заверяю Начальник отдела кадров НИУ МИЭТ /Заболотнов.Сергей Владимирович/ 1. Киреев В.Ю.
Основы нанотехнологий. — Сб. трудов б-й Международной Научно-практической конференции по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники «МОКЕРОВСКИЕ ЧТЕНИЯ», 20-21 мая 2015 года, М.: НИЯУ «МИФИ», с. 119 — 120. 2. Киреев В.Ю. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография процессы и оборудование. Долгопрудный: Издательский Дом «Интеллект», 201б. — 320 с. 3. Ъ'. Уи. К1гееъ е1 а1. ГаЬг1сайоп апд 81ис1у оГ Рагапте1егз апс1 Ргорег11ез оГ Хапоз1гис1игед МегпЬгапез Гог МЕМБ Велсез.
//Ь1апо1есЬпо1орез 1п В.изяа, 2017, Ъ'о1. 12, Моя. 7 - 8, рр. 414 - 425. 4. Киреев В.Ю. и др. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра. //Нано- и микросистемная техника, 2018, т. 20, №9, с. 521 - 527. 5. Киреев В.Ю. и др. Исследование воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения.//Российские нанотехнологии, 2018, т.
13, № 9 — 10, с. 51 — 57. б. Киреев В.Ю. Фундаментальные основы реальной физики в 2-х частях. Ч. 1. Основные законы и понятия реальной физики. Москва: Русайнс, 2018. — 224 с. 7. Киреев В.Ю. Фундаментальные основы реальной физики в 2-х частях. Ч. 2. Направления развития реальной физики.
Москва: Русайнс, 2018. — 232 с. .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
