0750-9-freview (1143766)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв На автореферат диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Диссертационная работа Осипова А.А., посвященная исследованию процесса плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития, а также разработке научно-обоснованных рекомендаций для профильных промышленных предприятий по использованию полученных результатов, безусловно, является актуальной.

Работа выполнена на высоком экспериментальном и научно-техническом уровне, обладает научной новизной и имеет большое практическое значение. Результаты автора в достаточной степени представлены в опубликованных работах и обсуждены на научных конференциях и семинарах различного уровня. По материалам, представленным в авторе ферате, можно сделать следующее замечание — на рис. 3(а) отсутствует обозначение оси абсцисс, и понять, какая зависимость представлена на этом рисунке можно только из подрисуночной подписи. Кроме того, хотелось бы получить ответы на следующие вопросы: 1.

На рис. 71б) показана зависимость среднеквадратичной шероховатости поверхности ЯС от температуры держателя подложки. Проводились лн аналогичные исследования для %0~ и 11ИЬОз? 2. В таблицах 1, 3 и 5 показаны значения технологических параметров в экспериментах, направленных на их ранжирование по степени их влияния на скорость травления. Из таблиц видно, что три из четырех параметров, а именно, напряжение смещения, мощность и положение столика, присутствуют во всех трех планах, тогда как четвертый параметр меняется в зависимости от Профессор кафедры «Микро- и наноэлектроника» Федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петероургский государственный электротехнический Корляков Андрей Владимирович университет «ЛЭТИ» нм.

В.И. Ульянова 1Ленина)», д.т.н. 197376, Россия, Санкт-Петербург, ул. Профессора Попова, дом 5 Тел. +7 812 34б-44-87 Е-та11: 1п1оГа~ею.го Подпись Корлякова А.В. заверяю рз~;, ЯК:ГЖ~ . материала: расход кислорода в плане для %0з, температура — для ЯС и давление в реакционной камере в случае ниобата лития. С чем это связано? Автореферат работы оставляет положительное впечатление и позволяет заключить, что диссертация отвечает требованиям «Положения о присуждении ученых степеней» БАК, утвержденного постановлением правительства РФ № 842 от 24 сентября 2013 г., а ее автор, Осипов Артем Арменакович„заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации