0750-2-freview (1143757)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук (специальность 05.27.0б — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники), Диссертационная работа А.А. Осипова посвящена разработке основ технологий глубокого направленного высокоскоростного травления подложек из монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малых уровнях поглощаемой мощности (менее 1000 Вт). В ходе выполнения диссертационного исследования впервые получены данные о влиянии термостимуляции на процессы плазмохимического травления %02, 1.1ХЬОз, $1С.

Работа вносит существенный теоретический вклад в развитие модельных представлений об особенностях образования дефектов на поверхности карбида кремния и ниобата лития, что, в свою очередь, позволило предложить методы их устранения. Необходимо отметить высокий уровень отражения результатов диссертационного исследования в рецензируемых научных журналах в количестве пяти статей, индексируемых базой "ЯСОР13Б", в большинстве которых соискатель выступает первым автором. Серьезным преимуществом работы является ее апробация на одном из ведущих предприятий отрасли - АО «Светлана-Электронприбор», что свидетельствует о востребованности результатов диссертационного исследования в реальном секторе экономики.

Сильный практический уклон работы, в том числе в части изучения физико-химических закономерностей процессов плазмохимического травления, по всей видимости, обусловлен значимостью работы для целей импортозамещении, в связи с чем общее положительное впечатление от исследования не может быть снижено. Существенных замечаний к работе не имеется. Диссертационное исследование А,А. Осипова представляет собой полноценный научный труд, результаты которого поспособствуют модернизации и технологическому развитию российской экономики и повышению ее конкурентоспособности. Работа отвечает требованиям, предъявляемым Высшей аттестационной комиссией при Министерстве науки и высшего образования Российской Федерации, а ее автор, А.А. Осипов, заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

Ординарный доцент, кандидат химических наук ,:7 ~.-~--у' — ' — —- Курушкин Михаил Вячеславович Университет ИТМО 197101, г. Санкт-Петербург, Кронверкский проспект, д.49. Тел.: +7 931 2789 700 е-таП: Кигик1й~пОьоап~~-~~~пудр 23.04.2019 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации