0750-5-freview (1143762)

Файл №1143762 0750-5-freview (Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности)0750-5-freview (1143762)2019-06-23СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертации Осипова Артема Армепаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Работа А,А. Осипова посвящена исследованию основных физико- химических закономерностей процесса плазмохимического травления (ПХТ) монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития на созданной установке с индуктивно связанной плазмой и применением оригинальной конструкции подложкодержателя с возможностью регулирования и термостатирования его поверхности, Совершенствование аппаратной составляющей с применением современных подходов к проектированию конструктивных особенностей системы позволило предложить конкурентоспособную, и даже превосходящую зарубежные аналоги, конструкцию установки ПХТ с высокочастотным (ВЧ) источником пониженной мощности, что открывает возможности реализации травления с высокой производительностью применительно к широкому спектру современных материалов электронной техники„а также является экономически перспективным направлением модернизации самого процесса ПХТ.

В работе уделяется большое внимание разработке на базе предложенных конструктивных изменений основ технологии глубокого направленного высокоскоростного травления подложек %0з, %Си !..1)~ЬО при малых уровнях поглощаемой ВЧ мощности (ло 1000 Вт). 1!ля каждого материала рассмотрена и выявлена степень влияния технологических параметров, варьируемых в ходе эксперимснта факторов, что позволяет рассматривать сделанные автором выводы как готовое руководство к технологическому внедрению на производстве„и тем самым еще больше увеличивает значимость представленных результатов и их практическую направленность. По тексту автореферата имеется несколько замечаний: 1. В тексте автореферата автор указывает значения давления.

при которых получены соответствующие результаты, либо использует словосочетания «увеличение/понижение давления» и др.т но не приводит сведений об интервале значений указанного параметра исследования. Может сложиться впечатление. что основная часть экспериментов осушествлялась судить по данным столь малого количества измерений.

Указанные замечания не снижают хорошего впечатления от работы, выполненной на высоком современном научно-техническом уровне. Автореферат грамотно написан и хорошо иллюстрирует выполненную работу. Полученные на основе разностороннего экспериментально- исследовательского опыта выводы не вызывают сомнения в их достоверности, и применение предложенных автором технологий на ведуших предприятиях отрасли является дополнительным тому подтверждением. По своему объему, новизне, научной и практической значимости результатов работа Осипова Артема Арменаковича полностью соответствует требованиям ВАК к кандидатским диссертациям по специальности 05.27,06— Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, а ее автор заслуживает присуждения искомой степени кандидата технических наук. Начальник лаборатории АО «НПО ГОИ им.

С.И. Вавилова», д.г.н,, старшин науиннй сотрудник ф Дунаев Анатолий Алексеевич 2~. у0~ Я,':Г 192171, Санкт-Петербург, ул. Бабушкина, д, 36, корп.1. тед. 5б0-10-20, е-дта11 бнпеетг бонин при каком-то постоянном значении, однако это не удается установить, исходя лишь из данных графика на рис.8 и пояснений к нему, Вероятно, в содержании второй главы недостает данной информации, ее наличие способствовало бы более полному восприятию дальнейшего материала. 2. На графике, представленном на рис.11б, отмечены 3 интервальные точки, через которые проведена линия сложной формы.

Не исключено, что зависимость, которую обсуждает автор, может иметь тенденцию к разделению на участки, однако об этом сложно с большой долей уверенности .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации

Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6358
Авторов
на СтудИзбе
311
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее