0750-6-freview (1143763)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ОТЗЫВна автореферат диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработкатехнологии скоростного глубокого плазмохимического травлениямонокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития прималой мощности» на соискание ученой степени кандидата техническихнаук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование дляпроизводства полупроводников, материалов и приборов электроннойтехникиСовременныетенденцииразвитиямикроэлектронных устройствиспользоват-тие комбинаций различных технологий для получения приборовспредполагаютпрннцшшальноновыми качествами и характеристиками. Для таких перспективных устройств актуальнымявляется совмещение традиционных полупроводниковых технологий и технологиймикромеханики, включая глубокое травление структур. Поэтому тема диссертации Осиповасвязаннаяизучением плазмохимического травления монокристаллическихматериалов: кварца, ниобата лития и карбида кремния; является, безусловно, актуальной.А.А.,сСогласноавтореферату, автор поставил перед собой задачу изучения скоростного и,одновременно, глубокого травления основных пьезоэлектрических в-тонокрнсталлическихматериалов (кварца и ниобата лития) и карбида кремния, являющегося важным материаломкак полупроводниковой микроэлектроники, так и микромеханики.

Одним из важнейшихрезультатов работы является получение качественных и количественных данных оплазмохттическох-т травлении именно ниобата лития. Данная тематика слабо отражена как вотечественной, так и в зарубежной литературе. Автор получил характеристики процесса иВЫЯВИЛ ОСНОВНЫе и лимитирующие факторы, ЧТО дает теоретический фундамент ДЛЯдальнейших исследований. Результаты работы внедрены в производство и опубликованы введущих российских и зарубежных изданиях.автореферату, следует отнести наличие небольшого числаопечаток в тексте автореферата и, по-видимому, в тексте диссертации.К недостаткам работы, судя поНесмотря на указанные недостатки, работа ПРОИЗВОДИТ впечатление завершенного труда,выполненного на ВЫСОКОМ научном уровне и имеющего большие перспективы ДЛЯПРОМЫШЛСННОГОприменения приИЗГОТОВЛСНИИпьезоэлектрическихИМИКРОМСХЗНИЧеСКИХдатчиков.Считаю, что, согласно автореферату, диссертационная работа соответствует требованиямВАК к кандидатским диссертациям, а Осипов Артем Арменакович заслуживает присужден-тиястепеникандидататехнических наукпоспециальности 05.27.06—Технологияиоборудование для производства полупроводников,материаловиприборов электроннойтехникиВедущий инженер-технологг.

Санкт—Петербург,197375, Новосельковская ул., дом 37, лит. А.Тел.+7-92 1-325-65-5 8,е-таі]:А0 «НПП «Радар ммс»,%Деркач Михаил Михайлович-30 апреля 2019дегКасЬ_тт@гас1аг-ттз.сотДеркач Михаил Михайлович, кандидат технических наук по специальности 05.27.01«Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника,приборы на квантовых эффектах».

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации