0750-concl (1143767)
Текст из файла
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.229.02, СОЗДАННОГО НА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО АВТОНОМНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО» МИНИСТЕРСТВА НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРА11ИИ ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУК аттестационное дело № решение диссертационного совета от 16.05.2019 г.протокол № 24 О присуждении Осипову Артему Арменаковичу, гражданину РФ, ученой степени кандидата технических наук. Диссертация «Раз аботка технологии ско остного гл бокого плазмохимического т авления монок исталлического ква а ка би а к емния и ниобата лития и и малой мо ности» по специальности 05.27.06— «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» принята к защите 21 февраля 2019 года, протокол № 20, диссертационным советом Д 212.229.02 на базе Федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» Министерства науки и высшего образования Российской Федерации 1ул.
Политехническая, д. 29, г. Санкт-Петербург, 195251),приказ о создании диссертационного совета 816 н/к от 18.11.2013 года. Соискатель, Осипов Артем Арменакович, 1992 г. рождения, в 2014 г. окончил Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет «МИЭТ»». г.
Москва с присуждением квалификации инженера по специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». В период подготовки диссертации ~2014 †20 гг.) обучался в очной аспирантуре на кафедре «Физико-химия и технологии микросистемной техники» института металлургии машиностроения и транспорта Федерального государственного автономного образовательного учреждении высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого».
В 2018 г. с отличием окончил аспирантуру по направлению подготовки 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» (диплом 107824 3810361), по специальности 05.27.06 — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». В настоящее время работает ассистентом на кафедре «Физико-химия и технологии микросистемной техники» института металлургии машиностроения и транспорта Федерального государственного автономного образовательного учреждении высшего образования «СанктПетербургский политехнический университет Петра Великого» Министерства науки и высшего образования Российской Федерации.
Диссертация выполнена на кафедре «Физико-химия и технологии микросистемной техники» института металлургии машиностроения и транспорта Федерального государственного автономного образовательного учреждении высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» Министерства науки и высшего образования Российской Федерации. Научный руководитель — доктор химических наук, профессор Александров Сергей Евгеньевич, заведующий кафедрой «Физико-химия и технологии микросистемной техники» института металлургии машиностроения и транспорта Федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого».
Официальные оппоненты: 1. Киреев Валерий Юрьевич. доктор технических наук, старший научный сотрудник, профессор кафедры «Проектирование и конструирование интегральных микросхем» Федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»».
г. Москва; 2. Гудовскнх Александр Сергеевич, доктор технических наук, ведущий научный сотрудник лаборатории возобновляемых источников энергии центра нанотехнологий Федерального государственного бюджетного учреждения высшего образования и науки «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук» (СПбАУ, Академический университет), г. Санкт-Петербург; дали положительные отзывы о диссертации. Ведущая организация — Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Физико-технический институт им. А.Ф.
Иоффе» Российской академии наук ~194021, Санкт-Петербург, Политехническая ул., 26), в своем положительном отзыве, подписанном доктором физикоматематических наук, заведующим лабораторией диагностики материалов и структур твердотельной электроники Павлом Николаевичем Брунковым, доктором физико-математических наук, профессором, ученым секретарем ФТИ им. Иоффе Андреем Петровичем Шергиным, и утвержденном заместителем директора по научной работе, доктором физикоматематических наук Сергеем Владимировичем Лебедевым, — указала„что диссертационная работа Осипова Артема Арменаковича является самостоятельной завершенной научно-квалификационной работой, в которой решена актуальная задача развития и совершенствования технологического оборудования и технологий травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития, и изложены научно обоснованные и экспериментально подтвержденные результаты и выводы.
Полученные результаты обладают научной новизной и практической ценностью, их достоверность не вызывает сомнений. Автореферат и опубликованные работы отражают ее основное содержание. Содержание диссертации соответствует п.1-4 паспорта специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». В отзыве подчеркнуто, что по научному уровню, полученным результатам, содержанию и оформлению диссертационная работа соответствует требованиям, предъявленным в п.п.
9 — 14 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г. № 842 1ред. от 01.10.2018) к диссертациям на соискание ученой степени кандидата наук. Автор диссертации, Осипов Артем Арменакович, заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». В качестве основных замечаний в отзыве отмечено: 1. Автор делает выводы о физико-химических закономерностях только исходя из результатов анализа микрофотографий, полученных методом растровой электронной микроскопии, при этом не применяет никакие методы «1п зпи» анализа реакционной среды во время процесса плазмохимического травления.
2. В работе отсутствуют данные о температуре образцов во время процесса плазмохимического травления, 3. Применение контроля глубины областей травления с помощью электронной микроскопии позволяет говорить только об оценке значений данной характеристики. Не вполне понятно, почему не использовались другие методы измерения, например, профилометрия. Соискатель имеет 11 опубликованных работ, из них 9 по теме диссертации, в том числе 4 работы опубликованы в рецензируемых научных журналах, рекомендуемых ВАК РФ Наиболее значимые работы: 1.
Осипов, А.А. Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца / А.А. Осипов. С.Е. Александров, А.А. Осипов // Журнал прикладной химии. — 2016. — Т. 89. — № б. — С. 704-710. Вк зад А.А. Осипова — разработка плана эксперименпюв, проведение экспериментов, участие в обсуждении и интерпретации результатов эксперимента и подгопювке текста публикации. (бстр.) 2. А!ехапдгоч, 8.Е. Р1аяпа-е?с?п1п8 оГ 2В-ро1ед 81аззез: А гонте ?о с1гу 1пЬо8гарЬу / Я.Е. А1ехапдгоь., А.А. ?.1рочз1сй„А.А. Оз?роч, ?Х. Кеййо, В.К. Та8аптзеч // Арр?1ес1 РМ*а|сз 1 епегз. — 2017. — У. 111. — Х.
11. — Р. 1-2. Вклад А.А. Осипова — разработка плана экспериментов, проведение экспериментов, подготовка текста публикации. (2 стр) 3. Осипов, А.А. Разработка процесса сквозного„скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси 8Рь/02 / А.А. Осипов, С.Е. Александров, А.А. Осипов, В.И. Березенко // Журнал прикладной химии. — 2018, — Т. 91. — № 8.
— С. 1101-1107. Вклад А.А. Осипова — разработка плана экспериментов, проведение эксперииентов, участие в обсуждении и интерпретации результатов эксперимента и подготовке текста публикации. (7 стр.,/ 4. Осипов, А.А. Травление карбида кремния в индуктивно-связанной плазме при малой мощности / А.А. Осипов, С.Е. Александров, ?О.В, Соловьев, А.А. Уваров, А.А. Осипов.
//Микроэлектроника. — 2019, — Т. 48.- №. 1. С. 31-37 Вклад А.А. Осипова — разработка плана экспериментов, проведение экспериментов, участие в обсуждении и интерпретации результатов эксперимента и подготовке текста публикации. /7 стр/ На диссертацию и автореферат поступили положительные отзывы от; Йоханнеса Центнера (РЬР. профессора Лейпцигского университета прикладных наук), Курушкина Михаила Вячеславовича (к.х.н., ординарного доцента Университета ИТМО), Красови нного Дмитрия Михайловича (к.х.н., ведущего инженера ОГК АО «Светлана-Рост»), Вьюгииова Владимира Николаевича (к.ф.-м.н., директора по науке и научно-техническому развитию АО ссСветлана-Электронприбор»), Беленького Бориса Петровича (к.т.н., заместителя генерального директора по науке АО «НИИ «Гириконд»), Корлякова Андрея Владимировича (д.т.н., профессора кафедры «Микро- и наноэлектроника» ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЗТИ» им.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
