0750-4-freview (1143761)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертации Осипова Артема Армеиаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27,06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Диссертационная работа Осипова А.А. посвящена решению актуальной задачи — разработке новых технологий плазмохимического травления (ПХТ) материалов, перспективных для использования в процессе производства полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и электро-механических систем, что соответствует паспорту специальности 05.27.0б — Технология н оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

Цель исследований диссертанта состояла в изучении основных физико- химических закономерностей процессов ПХТ на созданной установке с индуктивно-связанной плазмой и в разработке основ технологий глубокого направленного высокоскоростного травления материалов при малых значениях ВЧ мощности. В процессе исследований соискателем получены новые научные результаты, устанавливающие основные физико-химические закономерности процесса ПХТ монокристаллических ЯОз, ЯС и 11Ь)ЬОэ.

Разработан новый метод полировки подложек ЯС основанный на использовании термической стимуляции процесса ПХТ. Впервые продемонстрирована принципиальная возможность получения структур глубиной более 100 мкм в 1.1Ь)ЬОз с помощью термостимулированного ПХТ. Практическую ценность работы предопределяет созданный соискателем прототип промышленной универсальной установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники с источником высокоплотной индуктивно-связанной плазмы. Следует отметить, что автор предлагает перспективные варианты применения разработанных им технологий: — глубокое 1сквозное) высокоскоростное направленное плазмохнмическое травление монокристаллического кварца.

Достигнутые скорости травления находятся в диапазоне 1.1-1.7 мкм)мин и позволяют получать структуры с различным значением аспекгного отношения. Технология успешно апробирована при изготовлении кварцевого камертонного чувствительного элемента прецизионного датчика давления, производящегося на АО «НПП «Радар ммс»: — глубокое (сквозного) высокоскоростное направленное плазмохимическое травление монокристаллического карбида кремния с использованием ВЧ источника индуктивно связанной плазмы малой мощности (1000 Вт).

Удалось достичь скоростей травления карбида кремния более 1 мкм 'мин. Данная технология внедрена на одном из ведущих предприятий отрасли — АО «СветланаЪчектронприбор» и применена при изготовлении мощных СВЧ транзисторов; — глубокое высокоскоростное направленное плазмохимическое травление монокристаллического ниобата лития, обеспечивающая скорости травления более 450 нм!мин. Данный процесс опробован в технологическом цикле обработки ниобата лития в АО «НПП «Радар ммс». Предложенная технология является ключевой для создания разнообразных структур в монокристаллическом ннобате лития, необходимых для производства различных высокоточных датчиков. К автореферату имеются следующие замечания: из текста автореферата не ясно, каким образом измерялась температура поверхности держателя подложки в процессе плазмохимического травления,: непонятно, каким образом определялась завершенность процесса сквозного травления.

Высказанное замечание не снижает важности полученных результатов и их значимости для практического применения. Диссертационная работа соответствует требованиям, предъявляемым к кандидатским диссертациям пп. 9- 11, 13. 14 гл. 11 «Положения о присуждении ученых степеней». утвержденного Постановлением правительства РФ от 24.09.2013 № 842 (ред. от 01.10.2018), .а ее автор. Осипов Артем Арменакович, заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности: 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

Заместитель генерального директора по науке АО «НИИ «Гириконд», к.т.н. К.т.н. Беленький Борис Петрович Заместитель генерального директора по науке АО «НИИ «Гириконд» 194223, Россия, Санкт-Петербург, ул. Курчатова, 10 +7(812)247-14-51 и3 в~~иб ги .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации