0750-7-freview (1143764)
Текст из файла
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт «Феррит-Домен» тАП . «4п оеррттт-Ватаев, т 108006.: Св кт-Потарбург ув авотовт ав 25 торг,3. В В 76'*0245840 ВПП 781001001 ВСРВ 1037821010631 Рте~акт»40702610768000002600 Ф ОПЕРУ Вавка ВТБ1ПВС', в Саккттавтербурге Сев РПетвебувг. Ктвко" 8130101610200030000704 БР8044030704 тег, 8 1812; 876.28.63 Оакв 818'27 676-2885, ОроПВвооео г ввв.ао"ветка Но На НВ от ОТЗЫВ о диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» Диссертация Осипова А.А. посвящена изучению основных физико-химических закономерностей процессов плазмохимического травления (ПХТ) монокристаллического кварца ЯО, карбида кремния ЯС и ниобата лития 1лЬ)ЬОБ с помощью индуктивно связанной плазмы 1ИСП) и в разработке на этой базе основ технологий глубокого направленного травления подложек из указанных материалов.
Автором была разработана и создана универсальная плазмохимическая установка лля травления монокристаллического ЯО2, ЯС и 11Ь1Ь03 с источником высокоплотной (-10 см ) индуктивно связанной плазмы, обеспечивающая независимое управление 12 -3 энергией н плотностью потока ионов, поступающих к поверхности обрабатываемого материала, с целью повышения скорости травления изучены особенности термостимулированных процессов ПХТ и нх физико-химические закономерности, разработаны основы технологии глубокого высокоскоростного направленного травления подложек нз указанных материалов.
Наиболее важными результатами, полученными диссертантом, являются следующие: 1. Экспериментально установлено, что травление ЯО2 происходит как благодаря химическим реакциям, так и ионному распылению подложки, причем физическая составляющая процесса играет большую роль при температурах вплоть до 448 К. 2. Показано, при термостимулированном ПХТ ЯС вклад химической и физической составляющей процесса равнозначен, при мощности высокочастотного источника ИСП равной 1000 Вт достигнута скорость травления 1 мкмумин, разработан новый метод полировки подложек ЯС, основанный на использовании термической стимуляции процесса ПХТ.
3. Обнаружено, что при температуре подложки ЕЖЬО3 до = 473 К наибольших вклад в травление вносит физическая составляющая процесса, достигнута скорость травления 500 Технология керамических, силикатных и Кандидат технических наук с'05.17.11 тугоплавких неметаллических материалов), начальник отдела наноматериалов и СВЧ приборов на их основе Николайчук Галина Александровна Николайчук Г.А. АО «НИИ «Феррит-Домен» 196006 г. Санкт-Петербург, ул. Цветочная 25 кори. 3 Тел,: (812)6762939, е-та11: про®с)отеп.га д Фф> /ус /Сф кузьиииал.В.
« ~Я>> 2019 г. Подпись Николайчук Г.А. заверяю: Начальник отдела кадров АО «НИИ «Фе им/мин с углом наклона стенки профиля травления 92-95", впервые продемонстрирована возможность получения методом ПХТ в 1.1с 1ЬОз структур глубиной более 100 мкм. Содержание диссертации достаточно полно раскрывает цель работы, суть, методику экспериментов и анализ полученных результатов. Оригинальный материал содержится во всех пяти главах диссертации, представлен обзор предшествующих исследований и показано место диссертационной работы в ряду трудов по плазмохимическому травлению материалов.
Четко сформулированы выводы. По работе имеются следующие замечания: В автореферате отсутствуют сведения о принципах ранжирования технологических параметров согласно векторному методу оптимизации процесса ПХТ, на странице 4 применен неудачный термин «регулировка» по отношению к энергии, на рисунках 5 и 9 на гистограммах отсутствуют подписи к горизонтальным осям. Сделанные замечания не носят принципиального характера и не снижают высокой оценки диссертации.
Основные результаты диссертации отражены в 6 опубликованных работах в ведущих научных журналах 1«Журнал прикладной химии», ссМикроэлектроника», Аррйес1 РЬуз1сз 1.епегз и др.) и докладывались на пяти российских и международных конференциях. В целом диссертационная работа Осипова А.А. содержит необходимый объем исследований, выполнена на высоком научном уровне и удовлетворяет требованиям, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присвоения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
