0750-3-freview (1143760)

Файл №1143760 0750-3-freview (Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности)0750-3-freview (1143760)2019-06-23СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Отзыв на автореферат диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности» на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

Диссертационная работа Осипова А. А. посвящена решению важной задачи современной микроэлектроники — разработке технологии травления материалов электронной техники с высокой скоростью и качеством. В своей работе автор исследует процессы плазмохимического травления трех материалов электронной техники, а именно монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития. Поставленная автором цель — разработка технологии травления с высокой скоростью и при малой мощности источника плазмы представляется весьма актуальной для развития современной микроэлектронной промышленности, так как предполагает собой снижение времени обработки подложек, не теряя при этом в качестве, что закономерно должно привести к снижению затрат на производство конечных изделий.

Процессы плазмохимического травления при малой мощности мало изучены. В автореферате автор описывает использованные в работе методы исследования и сконструированную автором экспериментальную установку с индуктивно связанной плазмой. Установка позволяет осуществлять также процессы термостимулированного плазмохимического травления, которые к настоящему моменту недостаточно изучены. Согласно автореферату в работе изучены процессы плазмохимического травления различных материалов, в том числе исследовано влияние термостимулирования процессов травления.

Автором получены новые знания о процессах плазмохимического травления материалов электронной техники, в том числе установлено влияние основных параметров процесса, а именно мощности источника плазмы и расстояния до него, напряжения смещения, подаваемого на подложкодержатель, температуры подложкодержателя, расхода реагентов на качество травления. Примененный диссертантом метод планирования эксперимента позволил определить, какие технологические параметры процесса травления оказывают наибольшее влияние на скорость травления. Полученные автором результаты имеют практическое значение для производства приборов электронной техники.

Содержание автореферата достаточно полно раскрывает цель работы, методики исследования и полученные результаты. По тексту автореферата имеются некоторые замечания: 1. Не совсем ясно, почему при изучении процессов травления кварца влияние температуры подложки исследовано отдельно, а не комплексно с остальными факторами, как в случае карбида кремния и ниобата лития. 2. Не вполне понятно, почему автор предъявляет к нагревателю подложек требование работы на воздухе при нормальном атмосферном давлении, в то время как процессы происходят при пониженном давлении в атмосфере газов-травителей. 3.

Использованные автором газы-травители, материалы масок для травления охарактеризованы недостаточно подробно, и лишь упоминаются в тексте автореферата. Директор по науке и научно-техническому развитию АО <сСветлана - Электронприбор» к.ф.-м.н. Вьюгинов Владимир Николаевич В:;Н.Вьюгинов ~тенлещ~~: АО еСаетлон а - ллелтронлртллртор»:-' "' А ес о ганиз ии: 194156, г. Санкт-Петербург, проспект Энгельса, д. 27 Телефон: 8 1812) 554-03-80 Е-ша11: а уия1по~ ®з~е11апа-ер.ги Сделанные замечания не снижают хорошего впечатления от проделанной автором работы, и не уменьшают ценности полученных результатов. Работа выполнена на высоком научно-техническом уровне, достоверность результатов подтверждается их воспроиз водимо стью и сомнений не вызывает, а также соответствует требованиям «Положения о присуждении ученых степеней».

Автор диссертационной работы Осипов Артем Арменакович заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05,27.06 — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6392
Авторов
на СтудИзбе
307
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее