0750-3-freview (1143760)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Отзыв на автореферат диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности» на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

Диссертационная работа Осипова А. А. посвящена решению важной задачи современной микроэлектроники — разработке технологии травления материалов электронной техники с высокой скоростью и качеством. В своей работе автор исследует процессы плазмохимического травления трех материалов электронной техники, а именно монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития. Поставленная автором цель — разработка технологии травления с высокой скоростью и при малой мощности источника плазмы представляется весьма актуальной для развития современной микроэлектронной промышленности, так как предполагает собой снижение времени обработки подложек, не теряя при этом в качестве, что закономерно должно привести к снижению затрат на производство конечных изделий.

Процессы плазмохимического травления при малой мощности мало изучены. В автореферате автор описывает использованные в работе методы исследования и сконструированную автором экспериментальную установку с индуктивно связанной плазмой. Установка позволяет осуществлять также процессы термостимулированного плазмохимического травления, которые к настоящему моменту недостаточно изучены. Согласно автореферату в работе изучены процессы плазмохимического травления различных материалов, в том числе исследовано влияние термостимулирования процессов травления.

Автором получены новые знания о процессах плазмохимического травления материалов электронной техники, в том числе установлено влияние основных параметров процесса, а именно мощности источника плазмы и расстояния до него, напряжения смещения, подаваемого на подложкодержатель, температуры подложкодержателя, расхода реагентов на качество травления. Примененный диссертантом метод планирования эксперимента позволил определить, какие технологические параметры процесса травления оказывают наибольшее влияние на скорость травления. Полученные автором результаты имеют практическое значение для производства приборов электронной техники.

Содержание автореферата достаточно полно раскрывает цель работы, методики исследования и полученные результаты. По тексту автореферата имеются некоторые замечания: 1. Не совсем ясно, почему при изучении процессов травления кварца влияние температуры подложки исследовано отдельно, а не комплексно с остальными факторами, как в случае карбида кремния и ниобата лития. 2. Не вполне понятно, почему автор предъявляет к нагревателю подложек требование работы на воздухе при нормальном атмосферном давлении, в то время как процессы происходят при пониженном давлении в атмосфере газов-травителей. 3.

Использованные автором газы-травители, материалы масок для травления охарактеризованы недостаточно подробно, и лишь упоминаются в тексте автореферата. Директор по науке и научно-техническому развитию АО <сСветлана - Электронприбор» к.ф.-м.н. Вьюгинов Владимир Николаевич В:;Н.Вьюгинов ~тенлещ~~: АО еСаетлон а - ллелтронлртллртор»:-' "' А ес о ганиз ии: 194156, г. Санкт-Петербург, проспект Энгельса, д. 27 Телефон: 8 1812) 554-03-80 Е-ша11: а уия1по~ ®з~е11апа-ер.ги Сделанные замечания не снижают хорошего впечатления от проделанной автором работы, и не уменьшают ценности полученных результатов. Работа выполнена на высоком научно-техническом уровне, достоверность результатов подтверждается их воспроиз водимо стью и сомнений не вызывает, а также соответствует требованиям «Положения о присуждении ученых степеней».

Автор диссертационной работы Осипов Артем Арменакович заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05,27.06 — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации