0750-orgbiblio (1143768)
Текст из файла
ФЕДЕРААЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ Фпзмке-~еквппескмй мястатут ма.Л.Ф. Меффе РВССМЙЙКЭЙ авКявАЮМВММ ИЛ~К ИНН 7802072267/КПП 780201001 ОКПО 02698463 ОГРН 1037804006998 Политехническая ул., 26, С.-Петербург, 194021 Телефон: (812) 297-2245 Факс (812) 297-1017 роягйнта)1.)о/Ее.ги 1тггр://н:и ът.)ойе.гп Председателю совета по защите ' г диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание ученой степени доктора наук Д 212.229.02 на базе федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «СанктПетербургский политехнический университет Петра Великого» доктору химических наук, профессору С.Е. Александрову -И СР г /.Уе № Па№ от Уважаемый Сергей Евгеньевич! Зам.
директора по науч докт. физ.-мат. наук С.В. Лебедев Исполнитель: Р.В. Соколов Тел. 812 292-7968, факс 812 297-1017 Эл. почта: яо)го!очг®гва)1 Ео//е.гн Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт имени А.Ф. Иоффе Российской академии наук, выражает согласие быть ведущей организацией диссертационной работы Осипова Артема Армен ако вича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Список публикаций ФТИ им. А.Ф. Иоффе — ведущей организации диссертации Осипова А.А. «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Зам. директора по н докт.
физ.-мат. наук С.В. Лебедев 1. Мапшйп У.У. ег а1. 1пчезб8аГюп о1 йе Мог1111ег! 81гпсгпге о1 а Опапгпш Сазсас1е 1.азег //8еппсопг!псгогя — 2018. — Т. 52. — №. 1. — С. 126-130. 2. Йп8 Х. ег а1. ГаЬпсабоп о1 зса1аЫе апг! п1гга 1о~ч ро~чег рЬосодегесгогз чч11Ь Ы8Ь 118Ьг/г1аг!г спггепг гайоз пяп8 ро1усгузга11ше шопо1ауег Мо82 зЬеегз ИЧапо Епегйу. — 2016. — Т. 30.
— С. 494-502. 3. Кос1уаг К.Р. ег а1. 1пйаЬ!/ОаЫ Ьегегозгшсгпгез чч!1Ь 1агега1 сопйпешепг 1ог 1!8Ьг еппгг1п8 г11одез //1оигпа! о1 РЬуяся СопТегепсе 8епея — 1ОР РпЫ1зЫп8, 2016. — Т. 741. — №. 1. — С. 012083. 4. МпЫпп 1.Б. е! а1. Ггашег1 сагЬоп папок!гас!атея 8упйеяз апс1 арр11сайопз ш бгпсгюпа! 8РМ бра //Иггаппсгозсору. — 2015. — Т.
148. — С. 151-157. 5. 1.еЬедеч А.А. ег а1. Н!8Ь Оиа1йу бгарЬепе Оголи Ьу БпЫппайоп оп 4Н-ЯС (0001) //8еппсопг1псгогя — 2018. — Т. 52. — №. 14. — С. 1882-1885. 6. В1!гГа81гоч Т. еГ а1. Ро1уГур!яп г!г1чеп аего-11е1д зр1йбп8 о1 я1гсоп часапс!ез гп 6 Н-ЯС //РЬуяса! Кеч1ечч В. — 2018. — Т. 98. — №. 19.
— С. 195204. 7. Везао1оч У.Ь!. ег а1. Репс1ео-ерйаху о1 зггезз-1гее А1Ь! 1ауег оп а рго111ег! ЯС/Я зпЬзггаге //ТЫп 8о11г! Р!1шя — 2016. — Т. 606. — С. 74-79. 8. Маша!ппоч К.1. ег а1. 1Чапосгуяа! 1оппайоп ш йе г!наг!а яп81е сгузга! дпе го йеппа! ч!Ьгабопз оГ г!!з1осаг1опз //РЬуясз о1 йе 8о!Ы Яаге. — 2016. — Т. 58. — №. 8. — С. 1659-1662. 9. Тгопеч А. ег а1. РаЬпсагюп оГ ЫВЬ ехйпсйоп гагю !11Ышп шоЬаге шгедгагед орг1са! шог!п1агогз пяп8 рЬогогеГгасйче ггнпппп8 //1пгейгагег! Орйся Реч!сея, Магег1а1з, апг! ТесЬпо1о81ез ХХ11. — 1пгегпабопа1 Кос!егу Гог Орйсз апг! РЬогоп1сз, 2018. — Т.
10535. — С. 1053527. 10. Ма!ге!а Е еГ а1. ЕггесГз о1 йшшп8 апг! ЬеаГш8 1ог Тг02/А11пР !ппсГюпа //1опгпа! оГ Е1есггоп Бресггозсору апг! Ке1агег! РЬепошепа. — 2015. — Т. 205. — С. 6-9. .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
