0750-orgbiblio (Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности)
Описание файла
Файл "0750-orgbiblio" внутри архива находится в папке "Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности". PDF-файл из архива "Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
ФЕДЕРААЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ Фпзмке-~еквппескмй мястатут ма.Л.Ф. Меффе РВССМЙЙКЭЙ авКявАЮМВММ ИЛ~К ИНН 7802072267/КПП 780201001 ОКПО 02698463 ОГРН 1037804006998 Политехническая ул., 26, С.-Петербург, 194021 Телефон: (812) 297-2245 Факс (812) 297-1017 роягйнта)1.)о/Ее.ги 1тггр://н:и ът.)ойе.гп Председателю совета по защите ' г диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание ученой степени доктора наук Д 212.229.02 на базе федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «СанктПетербургский политехнический университет Петра Великого» доктору химических наук, профессору С.Е. Александрову -И СР г /.Уе № Па№ от Уважаемый Сергей Евгеньевич! Зам.
директора по науч докт. физ.-мат. наук С.В. Лебедев Исполнитель: Р.В. Соколов Тел. 812 292-7968, факс 812 297-1017 Эл. почта: яо)го!очг®гва)1 Ео//е.гн Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт имени А.Ф. Иоффе Российской академии наук, выражает согласие быть ведущей организацией диссертационной работы Осипова Артема Армен ако вича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Список публикаций ФТИ им. А.Ф. Иоффе — ведущей организации диссертации Осипова А.А. «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Зам. директора по н докт.
физ.-мат. наук С.В. Лебедев 1. Мапшйп У.У. ег а1. 1пчезб8аГюп о1 йе Мог1111ег! 81гпсгпге о1 а Опапгпш Сазсас1е 1.азег //8еппсопг!псгогя — 2018. — Т. 52. — №. 1. — С. 126-130. 2. Йп8 Х. ег а1. ГаЬпсабоп о1 зса1аЫе апг! п1гга 1о~ч ро~чег рЬосодегесгогз чч11Ь Ы8Ь 118Ьг/г1аг!г спггепг гайоз пяп8 ро1усгузга11ше шопо1ауег Мо82 зЬеегз ИЧапо Епегйу. — 2016. — Т. 30.
— С. 494-502. 3. Кос1уаг К.Р. ег а1. 1пйаЬ!/ОаЫ Ьегегозгшсгпгез чч!1Ь 1агега1 сопйпешепг 1ог 1!8Ьг еппгг1п8 г11одез //1оигпа! о1 РЬуяся СопТегепсе 8епея — 1ОР РпЫ1зЫп8, 2016. — Т. 741. — №. 1. — С. 012083. 4. МпЫпп 1.Б. е! а1. Ггашег1 сагЬоп папок!гас!атея 8упйеяз апс1 арр11сайопз ш бгпсгюпа! 8РМ бра //Иггаппсгозсору. — 2015. — Т.
148. — С. 151-157. 5. 1.еЬедеч А.А. ег а1. Н!8Ь Оиа1йу бгарЬепе Оголи Ьу БпЫппайоп оп 4Н-ЯС (0001) //8еппсопг1псгогя — 2018. — Т. 52. — №. 14. — С. 1882-1885. 6. В1!гГа81гоч Т. еГ а1. Ро1уГур!яп г!г1чеп аего-11е1д зр1йбп8 о1 я1гсоп часапс!ез гп 6 Н-ЯС //РЬуяса! Кеч1ечч В. — 2018. — Т. 98. — №. 19.
— С. 195204. 7. Везао1оч У.Ь!. ег а1. Репс1ео-ерйаху о1 зггезз-1гее А1Ь! 1ауег оп а рго111ег! ЯС/Я зпЬзггаге //ТЫп 8о11г! Р!1шя — 2016. — Т. 606. — С. 74-79. 8. Маша!ппоч К.1. ег а1. 1Чапосгуяа! 1оппайоп ш йе г!наг!а яп81е сгузга! дпе го йеппа! ч!Ьгабопз оГ г!!з1осаг1опз //РЬуясз о1 йе 8о!Ы Яаге. — 2016. — Т. 58. — №. 8. — С. 1659-1662. 9. Тгопеч А. ег а1. РаЬпсагюп оГ ЫВЬ ехйпсйоп гагю !11Ышп шоЬаге шгедгагед орг1са! шог!п1агогз пяп8 рЬогогеГгасйче ггнпппп8 //1пгейгагег! Орйся Реч!сея, Магег1а1з, апг! ТесЬпо1о81ез ХХ11. — 1пгегпабопа1 Кос!егу Гог Орйсз апг! РЬогоп1сз, 2018. — Т.
10535. — С. 1053527. 10. Ма!ге!а Е еГ а1. ЕггесГз о1 йшшп8 апг! ЬеаГш8 1ог Тг02/А11пР !ппсГюпа //1опгпа! оГ Е1есггоп Бресггозсору апг! Ке1агег! РЬепошепа. — 2015. — Т. 205. — С. 6-9. .
