0750-1-opreview (1143756), страница 2
Текст из файла (страница 2)
Однако, исходя из полученных в диссертации результатов, следует, что основной объем новых знаний об основных физико-химических закономерностях процессов плазмохимнческого травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития на установке с индуктивно связанной плазмой (ИСП), оснащенной ВЧ генератором с пониженной мощностью (менее 1000 Вт) автор получает в диапазоне температур (150 — 400) 'С.
Это связано с тем, что стандартное оборудование плазмохимнческого травления работает в диапазоне температур подложкодержателей ~20 — 150) 'С. Поэтому в цели работы желательно отметить расширенный температурный диапазон подложкодержателя. 2. В формуле (2.1) ~стр. 43, последний абзац) непонятно в каких единицах измеряется мультиметром величина Ъ'. 3. На стр. 44, последний абзац, первая строка опечатка в химических формулах газов напечатано 1Аг, БГ„, СГ40~), а должно быть напечатано юг, ЯГ~, СР,О,). 4. Авгор использует н русские, и английские индексы в обозначениях физических величии, например на странице 67 в таблице 3.2„на рисунке 3.3 и в формуле 3.1, что затрудняет чтение и понимание текста.
5. На странице 73, первый абзац сверху используется непонятный термин Ин — глубина травления (горизонтальная), а надо использовать термин скорость травления в горизонтальном направлении или величина подтрава под край маски. Заключение по диссертации .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
