Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 9
Текст из файла (страница 9)
Т с» м с) "3 П б а О 3 а х о о х х х х х й а~ а П х 3 3. Х х х в' с) о к х П б о о о х 4 о с) Ы О 4 $ Д х 2 — хх о о О с) ах х 8С.» о О ьП о х о аоС.» о О' х О,с 43 ао О охб бО, О - о о о сс х О х О О О 4 О О р 43 д О О х о х О 3 И й )Х (-3 о "о а хо Б 2 3) х о а х о о О о о О' Х Ь мх х» о х х о о х ) х 43 х х О, й й О сс о О Я х хо х а о О.
43 \х о О Х О О о О м ий С) О х Й Х с с) 0 о й) а Х,» 2 х Л О, М О Х Х О а О, О О х )х о х о с0 Н х н о о о О О х д О х О .4 о и и о О 3.3 О х х а х а О О О, ~0 со И й) с) х 3" Х х х сс С'3 О )4" О х х о О о м х Р 4 Д -" Х 43 с» с» 'О о" о о с» а о о С3 и х ~Р 33 И о С» Ф Ф о х з с) ОХ х О О СО и сХ с с О с О с с Л с О с с с О с с \ О с О $ О О с с с с О. сх сч и о о х х х х м' о о '' х х ф а О о о о х О с с ф о х о о о О х м И х с О, сС 1 ~х О ии а х й4 о а Оф, О о о о ф о Б Оа о с д о с с с ао о О „х с о х с а о й х Й ии 3й' ч с 4 а сс х н о х О МО О, „х О сс о ~ Й с СО а х й о х О ,. а о м м й ф х М х ~; о О О, О й Ж сц о О, о о х О, о о о х о о Р х х ф ф О Я сс О, о о с О о О О, О, сс О х сх о л х о О 4С 5 Р 8 М х О И о о о И Ь о с:с, х о о х 4 4 О СО + а сО О и х 4С х м фх 4 о о а о х о р О й о О й о х О о о а а о х о 1$ х В О Й ~Ы о )х и.
Е Я ох К х \х х о о о х о х д О )Х о О й Х О сс О ф х ф О о о а х )х о о о х О 4 о о а О ф 4С О 4' о х Х сс О о х 4 ОС О а х и. о Х С4 м сс сс о О О и' 4 Ий Е' а и ф О М' о о й о й О » х м 4 О о ф х о х о ф а х х о о ф о сс о оо о о с 4С с с с О :-'1 Ф соа О О н ф~ Ей о Х о я -Й О, Х О О О с д фхсСХ ОИ-Ь о» а Хойс О О о асио 4 о фн ос сф х х хф»мо ь о,р хОоо О Х .4 О, СО Н Х хххИ „ьи~ ~ о ~~ В~~ 1 ыис ~ 4.
Ц~.' -',Рй ~ О О со% Я со "8',Я О „о О х х х ~х О, Х Х ~Их О~Х В сс О О ~Й мо о х о ф о о о » „с с х х О Со ф О о О, о о о о х х о с си о х О О, О О х ф с ф х О д О О И ,4 о сЕ х 4 ф $:~ 45 Е Е о Е Е а~ ЬЕО о Е '~3 й о 41 хфха О о х х ~ОДА О мс х О а ф х х о 5х фх ц$„ хаи а х ао» ф о оно О х О О, о х ф й ао о х ф о х О, О х х о х о$ х о О О 41 О ф ххсх оохо ОНОО ОСХ О СС О О хЕо я о ~Е О, х ,4 О Д ~ с о ях Ооохххо й х м ф х ха О Х ф ОО, ф $' '." о ф о саоно о ОС М фхх хм а й а »с О,о Со х о х х с х сс О х о,х х о 4 И х х х х м И О, сс О х х х О ф д х ~ о, х х о о ,4 О х о М 4 о О д» О, о 4С »а» х Е'; н ,4 о 1 И ~О х О, С 3й Ц ф х о О О о м х м о а ..И и$ о х О Х О О фн с х Ьхх О О О с а о х О О О х ао О х ф ах о с о 44 О,Х '" "1о о ф х мо О.
Х а х 4 О о О о х х о х О о х о й х с о М о и в х $' о о О, 8 о о х м О х Х с4 о О ф х о х о О, О !Р О, Х Со С) Ю со с» Ю со С» Ю со сч с'3 са СО о," 3 Ю с) со Ю 00 Д О- о 6) Со со ф Я а, О о т о Й Д 1р О аД М О О о т О О О О О О. с О т О с х з т О О с О т 3 О а й й 3 О. с т т а рО 3 Ю сс а, о » О р)3 Ф Ю О Ю х О 6:; а" О Ф О О о ф О $ х Со о И О ф О ,6 О и 63 а .о х о о И Б 52 о О 3$ И о р" о р О Сс "' Ю Ю сс Ю С) Ю 60 х аи оо о Ж )х й Ы О 63 О О Х л О о о о И а 6) ю ~ ~о с- х' ~ И р2~ О О х а фО х х х о х Ф Со о х а ох ~ "Й Ю)Х а о С'3 Ф х й О д О 33)3Р ха О 4 х Д о х х "а О И сн 63 а х 6 О М О О И О О О Я о аИ Ю И Ф а х О Ь И 63 О о О О х х а, о о с) а х о д "хм о о ~и$ ц х хн а о 5.,1 О Фо на с хО О Х )х О Д ф ОС) ЙФЙИ О„И х с-) д оЮ х О,Ю )Х О ОООО Хо оф х о) х а 0 ах х о Ф х с) О ) 6) о о ~,И о н х ОЙ С о ф 66 ХХ О оф ХЯО 63 О Х 'Х О ХО х О я, Р' ф й~ сох О Е см И И х хо ха О со ИЙ О Х д о Ода о х о о ООХ с о хх х И а о х О О фх аф О 0 И 8ЙИ Х О Фхх О О' мИ о Я О 222 ООД с) х О Х с) о ф о)хх а2 о х И О х О И х Ф о с с х 5 а Й с:о $ $ 03 ф Ф а о Ф дх сч Ф О Ф с а Дс" н о с~И ~й Ох" о о тфс ~с с 3 м) о с) 1 х х И ф О сн хИ до О о са., о ю с о ' са 3 И 2 о О с л Ы Д )О Я2 о Со И о О с т О т О О а, со Их о с ххх ИИИ х о дн х х О Х фх х х о ох х с о Ф О О х ох х со О )х о О о х Дхр И ф нос сфхо д И СО 3 Х ой~а о ос ф О О а,) )Х Х О И, а Х'О ф хха О р О о с фх О Ф Х сох О х а о х О О 6) х ф о х х о со хо Х нО а о О Ф о ао о о х х о Ц И х О Ф х )" О О х о" а, С О ао о о х И х о х з О 03 х О О с х 03 3 О О 3 х 5 х а.
03 со ° Ь О юч 03 мс а. х х О 63 н х .3 О Х О О ф И х й а, о ао О 3О Д И а О 6) Х х о х х а, х х БИ 63 х 63 6 9' о х О О С) Д.= хат ы С3 %й о „о О- Х о ~о я аЯ О 1л~ » О, О х о х х о х о н о $ о И 2 Р К ж х о а х Ю х 00 и о =' Ю Ы о -' 00" о Й ~ ха'ю Ю о а 'О х а~( с) о х ф Я 4 О О о Ю Ю о ха о) О О О О ~ х ,"0 ) О »т О Ю х о 63 '33 , ).3 6~ И И СО :-р И' Ы И )х О О о Ф О О СО И с) х И О о х ф О, О О )х а„ О со йИ со х » о о оххх Х оф О Х х о х а О ~ Я Ф Имоо ОХ~ ~о ОООО ОООО ООО ао ~ ~".-й :.Ь ю~ хф )с) о о 0 И,1 о хохф х ха Ф О,ф О о О Х хр1 И ай о О О о с х м со О Х х у О а» й о И со о ххо О О О х х ф ао" О х И - о х О О о „ х ф Х О Х Х 63 О н И О а И а" И О 6) 63 Д о .О ° о И О И О а) х с но О оа о Е'~ Х со ~:~ х ах о \с) Х 6 о х 5~ о, ах о Й ох Осо О о О '3 И )х Ооо ОХ О. СО О' О хфх ХО О, $'3 о х Осах Ф о И х О Фх И аф хфД Мах о н хо о х а,о О о с мо с) О ф О 63 о х а х о х Х О О о о аа О н И И о О, о х О $ И О » х и О, х о О х 2 х х о с 0 0 с 0 р ф х х Ф 0 РР о ~ о" х 0 О РР с.
о Я у х ф 0 0 0 С И И о 0 о 40 со л о о о Рф И РР с 0 о ф о р! З $ х 0 Х с о ф 0 0 0 Л Б, х о й % Б с с 0 0 й Б с. Р! х "'С 04 х' о ф .4 Н СР 0 3~2 Ф ф о ф х Д х х о 30 о Д 3 х а Р 4 о сх х 0 ф о хнф о о х х фх х о х ф о фх ф хно х ф а 44 Сд О нс о Р Р ~ фх ф с~~ Ъ х х х хх й 0 О „х 0 ф Ь М х х 000 -„й й 0 ф 0 0 х Ьж 0 0 14 СР 0 СсРР йф' 0 0 о ф осхх У х 0 0 Х СР о о и %0РС х 0 Охах У с,а 0 0 о х а 0 о х »х й ~ М сх й~- и дбо с ф 0 0 4' ф 5 ф 0„ 0 0 0 ф Р 40 о д с о ,, о 0 0'-' о у о Л 4 0 д 0 ф 0 3 О с аа х х х 0 0 Я х х о д О х х 3 ф х ф х х х х 0 0 а й 0 сб сс Р' х Я ф 2 Их ф х 0 а ~~ См о 04 0 .
х х со ф" 4О Р х 0 ф хо 0 "~и Х 0 ООО, ОНО ф м х И"х 8" со о" 2 хф" д 0 Оха ойф х ф 0 Х" до о х х ф х,~ х ф 0 ф о ах й со аф охх Яфо Р 0 Х Оа х~х 4 д 0 Х хсх Фф н2 х 0 О оН аф~: ф о х о ф 'х й' х оо о 0 0 хофф Х х ха,4 х о ОХХ, 0 Х фхнф РР Х '6. ххд8 РХ 0фхО Х 0 ф НО о Д н ЙРх фо ах х о х о Д х РР " со ф 00 22 Д ф х'й оф Й.= Й 3. $ й $ х $ % У Б И Х РХ Я О ф РР О О Ц 0 й РХ х РР Н РР о ф 0 0 0,0 оЦ 8 о 4 0 41 х ф х х х 0 2~' ф 1 0 д о ф ,4 х о х О О х о о 0 Н д о 1з Со 0 с' о ф 0 0 х о 0 У 4 0 ф о о х Й1 ао М о Во о а 4 Ох 0 о ии й о СО 0 Ий О 0 о ф Р' х х 0 0 х Я м 0 о Ь 40 д Я д СР о 3-,' х 5т :Т Р сс х х о ф 0 о Ей ." ф 0 %~й 2 о х 0 0 ф х о ф о фф о ао 0 0 00 Х м О 0 х ах ж хай й О 0 !$3 Д ~-,. И ОХ;, х хд.х х о :.=:- '„=$ хм о й о ах фх 0(О сох>х Д 0 Б Х о н хх х м Я 0, 0 ОООО 0,0 Х Х 0 О, Ц фа-в ф Х0 о 0 Осо х о 0 ххй н но о х х "х ф ф" о Оа 0 0 да х:с О 0 ~~ о =И' РР В я РР Я х Ход о х 0 ий 0 Х х3 о х х 0 сх а о о х х Р' Х 0 Х 0 о х Р,х ф х О, 40 ф 0 о 0 о,х Б о х х 0 о о РР 04 ф Д й ф ф $ х д О а 5 0 „Я х х х Х У0", о б 0 х „ ф фх 0 РС д х ох сс РЭ б х о Ях>х а, 0 Р ~ Х 0 О х о 0 О хох ф х м о хх" О Х сс 0 Ц Фхи хИЬ о Ой~ф И РР 4 О О о 0 о ф 4 0 й~ ~й 0 0 Р' 6И х о о д ф 0 ф х х х х хд 0 0 0 х х ф о м РР х ф )х х м О, д' ф 0 д х Ц " СО ЙЬ О Ю.
о бЮ ою-1э 61 — )71 5Г-Об ЬЮ г988-хэ )9 — 09 О1-8 61 — О! 91-0! 0$-9Е (н)оои -эб Ьч) Н9095 Эс! ЬЮ о!88-э« Ь8) !ой-эб оГ-81 с о ЮОО8 Эа 61 И Х н О 5 81-5 91 Ь)) е1ы-эб 68-бг 91-81 56! — 598 ЬЮ 0168-э« 1! — 8 56! — 59К 11 — 8 8'1-6'а Ь8) 1008-эа 8'1 — 6'О Ья) еоо1-ът о1 — б М И)01-Э6 01 — 9 9! — о1 лэ о!ч! нинин!!и авоноо ен вовеииэ клнеихаиеа!1киннаненчио!!и ве!зон иимэаьиин)! 61 е енинде! !бо 568 ")8оР) ЕО5 0682 г,8саЭ 681 1918 !8'лЭ 8861 Обг 6 01 — 8'8 96 '18Л 9Е1 баб! 18 г 8661-8161 901 081г !81-1.91 58 НОХ 8181 8861 иои0 01™ ,Х О1 ЭХ). О н вовнииниэ хи и воииехаи кибохеман имихаидазне!!ех аинчиахннве!!э '81'е енинде! 3 О (Енниэйн — эонннноо) эээаи он э э *ээээээ еиаоэьнинХ ио и0 , О1'™ !н) оы-эб (11) !00! Эй (нотпойон — д 'чнэпии — уо)) эннэаонээниН х Б Й о О О.
О »О й О й О е Е е» Д х з О ф О О О а й Ы 3 О. з ф ф О а с ее е ВЬ с е. ч, а ее а Отсс с (~ а О ец С 3 о а а ааа 4» $ а 4» С ее О а аф а о а х й '~Ф й аас йа С с ьее ее а оа 3- 34 о 34 а еее Ц» а еее ОЕ аь О 34 ОО с о а а саа е, е» а ааа саа ааа аса 4~ а а ;За а а а ь с ео С С а ОЕО сФ й до'~ ф Д 4 ц ф с о о ~3о о н е» н о е» ц о е-. 13"" ~ о,о ф М о 43 С О о о о о, о о с сЕ ах с О ф чо ч О ф фф о ф С й ее Ы О ф и а ф Х 3 е» о а о Я а 43 й3. 4» о ж о 43 щ е» й а О с Ра о о а 3 о.
Я 333 о ч о Еее о Ее 34 очи о ао ~ хХфо с с о с е» ф ф оМИо с Я„"У ~3"1 о нас о ф ф нО с О х И ж ф а»о но 5 о о »ф о о ч Е Я и й ч с о, -Н о о 1 ЕО" О 6 3 $ й й М Е .Н ее» ! о о -Н е» о .Н ее» С»" о р ~ о О ф ф ф сС Я ф „-,Р,-И, ~ Я О О Оо О ~Д~О~Я й$ а х Я ч о.
~~о е ф но~ ф $Я й 1 ав с О О Н~ со Я аф сД ф о ао В 4 ,ф.1 а1 4 сд 1 йсф ее с оц ф- 5 чжИ О йй „-" ~ о сЙ Рс 133 ~ о,х .3и И аЬ И$~ ф Ж 2 ха О ой $3 .и О О-' О Д О фа х $":,= 43 О =' $ Б1~ Р а~ х фо ф й О с фо Й' й о ж Ы НЗ о , И $3 5 5 о ай н о о о ф о о х ч О Д 3-" О о о ео Фф од рная ф о »е 4' С о 43 ф о,с е» ф с ,еаза ИИ~ »ф ф о 31 ее ~и~ о с О О- с .Й е.е ~ Я о о с Д ~ Я хо ф 4 ее доД ф с ~ с и~~ ~Д,! о" ~ о, ф о 836 $ а ро~ Х о О~ 'с с о ~3. о Я ф З что ч »н ~о ~-.
н И~ ОО„ - о" "О ~ ~62 В ! и36 фоф О ~ О О Ио "ео аф ч ф ир. '4 ах Ы о ф о 6 Ы ~'О» $ Ч ОЕ» О оса Оф Я ч о З о е»' о . 'о $Й~ О ~О О-,' Я я5 л л '1 о О о х о х о о «) ,4 о )4 о )О О о и о Х» д )о а о о )« о о.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
