Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 22
Текст из файла (страница 22)
РХР»ОР ОРОХ оха$ Р ха„а о Р ° ~~ а~ о 'х4 а а~ 0 Я я д о Раааа Рохаоо Й ~'"Ч х о а, а ха.х о о о аох о аД о д Р И а Р о - » .4 а~ Й Р а ОО ОО О Р о 4 0 оа; 'х оО 0 о о о Х о о д а Р о а а д о о О Й„: ~й Р о Р х а Р х й Р а О, "х а Р а о м о а о о о -х о о х ~ 44 н о х о о 4О х Р о "'. о -" ,о о »~О о, а а, о Р о 6\ й о х '-' й щ ИФ д а 00 О.О со О с'о о о Р о Х Р а о Ии Р О х х 4 $ 04 а, 'М "о ~ о6 с-- М Р о.,~" 3 р Р $ а о,-1 ':1 В' йа3 4". 41 Р Л Ф О.
о о )Р Р о х а Р сч '" о а о 00 о 0 Г' о а, х о а 4 о о а. х о 3 о Р х а (д 3 Ц о ~х5 х,о Р 0 оо Р ах о о х а.а о о х ха о о,ю е" х 00 ХО4а,' о а о Р Рой о о о Р Р о Р о Д Д й О, И 3м Ц Д а 2~ Д од » о о „ ф о О аа Р х о а О Ф о о о . ~8 о о со са 00 .0 Р ф о о х о 44 о о '.~ 2-~ 2 о о о и о х 4 о о О»Х х 3 о о о о Л о ~ 44 00 .,ЙР р~х Ъ 01 О 00 а ~О о 0"' Р Р' о Л х 4О Р ~ Р а,- ф х РЕ 4', й о % й Д Ь о з И ~о х о«» х 04 .~„~ Я~И 00 хо $ ,4 о Р жД ох О Р 3 Ы О Р Р О, о а Р о Ж х Ц 4 4 о Р Р о а о о Х Р Р Р о а о а о Р О И6 о ~ й а о О ОО Рх О И О д х о О, о Р ф Р а а И Р ~' о о о х о а о Ж о а !й 8 о 0 а о о Р Ф Р „х Р Щ а а о а О о й~ Р Я ~) Б о Ро х Р ~а х со )Р а о Мя: О, а а И О, ° а о О а о х о о а о о о О Х И'- Р й й х о х 2:" ."И х о о о о О.
Ж ~ о ~" й 4" "Р а )Р» о о О„О, х » о ~О й 4 а ~Р ж 00 ,4 о о Р о а й Р )Р о И о Я Р оа д Р со о Я й 8 4а я, а о ох о аа о Р Р а а О, ,Р О о й й~ а я Ю Р а о р о Л о ию Р Р о о О, о Р О, 4 8 О Р о О, х 1 о а ~4 Ж О Р а а а х РР~РОР$хоРО ОРРРРРООР хож РОР о х о о а Р о РРЕОРРРЕООЕ" ОЯРРхРРР„ОР ~ ~оо о Рх о Я Р э ф с о 4 РХРОО~Р~ОО хооОХРРР 'х'Р азд х Д Р Р Ы 5 Ф Р о~хх~Р ххаа ~ РМ Р аРР,-АБРИ; »РРР-РР "ййа ~а~ааааа, Роа Оа О, у '$ оо а х о о,4 Р 00 О и Р Х' 2 а а а х О. Х О Х Х Р О Р,О Й, 04о .РоаИ, о РРРР»~РИ РО Р о х й о аао Р х .